Борисенко В.Е., Воробьева А.И. Наноэлектроника. Часть 1. Физические основы наноэлектроники

Минск, БГУИР, 2003. - 76 с. Учебное пособие. Учебное пособие составлено на основе курса лекций "Нанотехнология", читаемого студентам специальности "Микроэлектроника" дневной формы обучени. Во второй части рассмотрены основные известные и нетрадиционные методы изготовления наноразмерных структур и функциональных слоев на их основе.

Учебное пособие. Томск, В-Спектр, 2011, 263 с. В учебное пособие включено описание новых технологических процессов, которые составляют основу современного производства сверхбольших интегральных схем (СБИС) и других устройств кремниевой наноэлектроники. К таким процессам относятся субмикронная литография, ионное легирование, быстрый термический отжиг, ионное и плазмохимическое травление наноструктур, атомно-слоевое и ионно-плазменное осаждение мет...

Санкт-Петербург, Лань, 2008. — 336 с. Учебное пособие. 2-е изд. Данное пособие знакомит читателя с историческими этапами зарождения наноэлектроники, определяет роль микроэлектроники на современном этапе. Также приведены теоретические основы и особенности наноэлектроники, отражены особенности инструментального и технологического обеспечения ее развития. Рассматриваются достижения нанотехнологии в электронике, перспективы и тенденции ее дальнейшего...

Учебное пособие. 2-еизд.,испр. — СПб.: Издательство «Лань», 2008. — 336 с. Данное пособие знакомит читателя с историческими этапами зарождения наноэлектроники, определяет роль микроэлектроники на современном этапе. Также приведены теоретические основы и особенности наноэлектроники, отражены особенности инструментального и технологического обеспечения ее развития. Рассматриваются достижения нанотехнологии в электронике, перспективы и тенденции ее...

Методическое пособие для студентов 5-го курса МГТУ им. Н. Э. Баумана. Рукопись (не издавалось). 2007 г. Часть 1 - 36 стр., часть 2 - 34 стр. Настоящее издание методического пособия соответствует программе курса "Физические основы наноэлектроники". Рассматриваются электрические, оптические, механические и др. свойства наноструктур различных размерностей, важные для применения в РЭС. В первой части рассмотрены свойства двумерных наноструктур (нано...

М., Физматлит, 2006 г. , 195 стр. В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология с...

Учебное пособие. - Санкт-Петербург, СПбГУ ИТМО, 2011. – 83с. В учебном пособии рассмотрены физические основные наноэлектроники. Технологии создания твердотельных наноструктур, применение квантово-размерных структур в приборах наноэлектроники. Учебное пособие соответствует утвержденным учебным программам по направлениям 211000 – «Конструирование и производство электронно-вычислительных средств» для бакалавров и 210200.6805 – «Технологии и инстру...

М., Физматкнига, 2007 г. , 465 стр. Монография содержит подробный материал по пяти дисциплинам направления подготовки «Нанотехнология в электронике»: физико-химия наноструктурных материалов, материалы и методы нанотехнологии, методы диагностики и анализа микро- и наносистем, элементы и приборы наноэлектроники, квантовая и оптическая электроника.

М., Физматкнига, 2007 г. , 465 стр. Монография содержит подробный материал по пяти дисциплинам направления подготовки «Нанотехнология в электронике»: физико-химия наноструктурных материалов, материалы и методы нанотехнологии, методы диагностики и анализа микро- и наносистем, элементы и приборы наноэлектроники, квантовая и оптическая электроника.

Пособие по курсовой работе. - Красноярск, ИПК СФУ, 2009. - 122 с. Настоящее издание является частью электронного учебно-методического комплекса по дисциплине «Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники», включающего учебную программу дисциплины, курс лекций, лабораторный практикум, методические указания по самостоятельной работе, контрольноизмерительные материалы «Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники....