Метрологическая аттестация образцовой установки
по измерению удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов (кремния монокристаллического) четырехзондовым методом. УрГУ. Терентьев Г. И. 62 с. Кафедра физики магнитных явлений. 2007 г.
Состояние метрологического обеспечения измерения удельного электрического сопротивления.
Метод измерения удельного электрического сопротивления.
Физические эффекты, вносящие погрешность в результаты измерений.
Метрологическое обеспечение метода измерения удельного электрического сопротивления, его состояние.
Разработка проекта локальной поверочной схемы для средств измерения удельного электрического сопротивления.
Определение параметров поверочной схемы.
Оценка числа ступеней поверочной схемы.
Определение соотношения погрешностей поверочной схемы.
Проект поверочной схемы для средств измерения удельного электрического сопротивления.
Образцовая установка по измерению удельного электрического сопротивления кремния монокристаллического.
Описание установки, ее работа, характеристики средств измерений, в нее входящих.
Методика подготовки образцов кремния монокристаллического.
Разработка программы метрологической аттестации образцовой установки для измерения удельного электрического сопротивления.
Программа метрологической аттестации.
Метрологические характеристики, подлежащие определению при метрологической аттестации и средства метрологической аттестации.
Методика метрологической аттестации образцового средства измерения.
Оценка среднего квадратического отклонения случайной составляющей погрешности измерения УЭС.
Оценка относительной систематической составляющей погрешности.
Оценка относительной погрешности образцовой установки.
Экспериментальное определение метрологических характеристик образцового средства измерений.
Исследование случайной составляющей погрешности образцовой 4-х зондовой установки.
Исследование относительной систематической составляющей погрешности образцовой 4-х зондовой установки.
Оценка относительной погрешности измерения сопротивления на участке образца между потенциальными зондами.
Оценка относительной погрешности, обусловленной переходным сопротивлением контактов между зондом и объектом измерения.
Оценка относительной погрешности установления среднего межзондового расстояния.
Расчет относительной систематической составляющей погрешности 4-х зондовой установки.
Исследование относительной погрешности образцовой установки.
Результаты метрологической аттестации образцовой 4-х зондовой установки.
Выводы.
Список использованной литературы.
Приложение.
Протокол метрологической аттестации.
Приложение.
Свидетельство № от июня 1995 г. о метрологической аттестации.
по измерению удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов (кремния монокристаллического) четырехзондовым методом. УрГУ. Терентьев Г. И. 62 с. Кафедра физики магнитных явлений. 2007 г.
Состояние метрологического обеспечения измерения удельного электрического сопротивления.
Метод измерения удельного электрического сопротивления.
Физические эффекты, вносящие погрешность в результаты измерений.
Метрологическое обеспечение метода измерения удельного электрического сопротивления, его состояние.
Разработка проекта локальной поверочной схемы для средств измерения удельного электрического сопротивления.
Определение параметров поверочной схемы.
Оценка числа ступеней поверочной схемы.
Определение соотношения погрешностей поверочной схемы.
Проект поверочной схемы для средств измерения удельного электрического сопротивления.
Образцовая установка по измерению удельного электрического сопротивления кремния монокристаллического.
Описание установки, ее работа, характеристики средств измерений, в нее входящих.
Методика подготовки образцов кремния монокристаллического.
Разработка программы метрологической аттестации образцовой установки для измерения удельного электрического сопротивления.
Программа метрологической аттестации.
Метрологические характеристики, подлежащие определению при метрологической аттестации и средства метрологической аттестации.
Методика метрологической аттестации образцового средства измерения.
Оценка среднего квадратического отклонения случайной составляющей погрешности измерения УЭС.
Оценка относительной систематической составляющей погрешности.
Оценка относительной погрешности образцовой установки.
Экспериментальное определение метрологических характеристик образцового средства измерений.
Исследование случайной составляющей погрешности образцовой 4-х зондовой установки.
Исследование относительной систематической составляющей погрешности образцовой 4-х зондовой установки.
Оценка относительной погрешности измерения сопротивления на участке образца между потенциальными зондами.
Оценка относительной погрешности, обусловленной переходным сопротивлением контактов между зондом и объектом измерения.
Оценка относительной погрешности установления среднего межзондового расстояния.
Расчет относительной систематической составляющей погрешности 4-х зондовой установки.
Исследование относительной погрешности образцовой установки.
Результаты метрологической аттестации образцовой 4-х зондовой установки.
Выводы.
Список использованной литературы.
Приложение.
Протокол метрологической аттестации.
Приложение.
Свидетельство № от июня 1995 г. о метрологической аттестации.