Ивановский Г.Ф. Ионно - Плазменная обработка материалов

формат djvu
размер 82.41 МБ
добавлен 12 июля 2010 г.

М.: Радио и связь, 1986, 232 стр.

Рассматриваются физико-химические основы и принципы применения ионно-плазменной обработки материалов в вакууме с целью очистки их поверхностей, травления на поверхности структур субмикронного размера, а также получения пленочных покрытий различных материалов. Анализируются основные закономерности и теоретические представления о процессах ионно-плазменной обработки, рассматриваются характеристики оборудования для ее осуществления, возможности автоматизации процессов. Для инженерно-технических работников, занимающихся ионно-плазменной технологией.

Похожие разделы

Смотрите также

Аксенов И.И., Падалка В.Г., Хороших В.М. Формирование потоков Ме плазмы (обзор)

формат pdf
размер 3.15 МБ
добавлен 12 мая 2010 г.

М.: ЦНИИатоминформ, 1984г. - 84с. Анализируется способы и устройства для генерации металлической плазмы, основанные на использовании вакуумно-дугового разряда с расходуемым катодом. Рассматриваются работы, связанные, главным образом, с проблемами ионно-плазменной технологии обработки материалов и техники получения вакуума. Особое внимание уделено вопросам управления плазмой скрещенными E- и H- полями: фокусировке, отклонению, транспортировке и се...

Барвинок В.А., Богданович В.И. Физические основы и математическое моделирование процессов вакуумного ионно-плазменного напыления

формат jpg
размер 102.23 МБ
добавлен 17 марта 2011 г.

В монографии рассмотрены физические основы и математическое моделирование процессов, происходящих при получении покрытий вакуумным ионно-плазменным методом. Основное внимание уделено процессам транспортировки плазмы металлов в разреженной газовой среде, электрообмену движущейся плазмы с поверхностью твердого тела и кинетике гетерогенного плазмохимического синтеза покрытий из ускоренных плазменных потоков. На основе новых физических представлений...

Гасанов И.С. Плазменная и пучковая технология

формат pdf
размер 872 КБ
добавлен 08 июля 2010 г.

Гасанов Ильхам Солтан оглы. Плазменная и пучковая технология. Изд-во: "Элм", Баку 2007, 175 стр. В книге рассматриваются физические процессы, лежащие в основе работы ионных и плазменных источников, а также их конструкции и функциональные параметры. Описываются методы масс-анализа состава ионных пучков и остаточного газа в вакуумной системе. Характеризуются механизмы взаимодействия ускоренных ионов и электронов с веществом, способы осаждения тонк...

Карчевский А.И. (ред.) Итоги науки и техники: Физика плазмы (том 12)

формат djvu
размер 1.73 МБ
добавлен 17 октября 2009 г.

ВИНИТИ. Москва – 1991 г. Процесс создания газоразрядной плазмы, возбуждения в ней постоянного или ВЧ-тока приводит к развитию в плазме различных физических эффектов, в результате которых наблюдается пространственное разделение изотопов. Первичными причинами разделения изотопов в газоразрядной плазме могут быть и термодиффузионный механизм разделения изотопов, и масс-диффузионный механизм, связанный с переносом тока ионами плазмы. При определенны...

Котов Д.А. Исследование вольтамперных характеристик интегрированной ионно-плазменной системы

Статья

формат pdf
размер 249 КБ
добавлен 23 мая 2011 г.

Статья. Опубликована в Доклады БГУИР, 2003, т.1, №2, с.78-82. Интегрированная система ионно-ассистированного магнетронного распыления была разработана для расширения возможностей управления параметрами осаждаемых пленок. Преимуществом предлагаемого способа нанесения является высокая скорость роста покрытия с заданной структурой и соответственно физико-химическими свойствами. Приведена схема устройства и результаты исследований вольтамперных харак...

Немов А.С. Исследование распыления и ионно-электронной эмиссии углеродных материалов при высокодозном облучении

Дисертация

формат pdf
размер 673.69 КБ
добавлен 14 июля 2011 г.

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Москва. 2007 г. 23с. Специальность 01.04.04 – физическая электроника Работа выполнена в Лаборатории взаимодействия ионов с веществом Отдела физики атомного ядра Научно-исследовательского института ядерной физики Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова. и температурных зависимостей кинетической ионно-электронной эмиссии. Цели и задачи исс...

Степанов И.Б. Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов

Дисертация

формат pdf
размер 3.88 МБ
добавлен 12 июля 2011 г.

Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук Томск, 2010. 47с. Специальность 01.04.20 – физика пучков заряженных частиц и ускорительная техника Работа выполнена в ГОУ ВПО "Национальный исследовательский "Томский политехнический университет" Цель работы состояла в проведении исследований процессов генерации ионных потоков с использованием короткоимпульсных высокочастотных потенциалов смещения и многоэлектродных сист...

Сысоев Ю.А. и др. Подавление микродуг в ионно-плазменных процессах

Статья

формат pdf
размер 596.23 КБ
добавлен 06 февраля 2012 г.

Статья. Опубликована в сборнике научных трудов Вопросы проектирования и производства конструкций летательных аппаратов. Х., ХАИ, 2010, с. 304 - 310. Во многих технологических плазменных процессах и операциях, где зачастую основная роль принадлежит тлеющему разряду, возникает проблема несанкционированного его перехода в дуговой разряд. Такое самопроизвольное дугообразование наблюдается при азотировании в стационарном тлеющем разряде, при ионной оч...

Тарала В.А., Шевченко Е.Ф. Исследование газофазного осаждения пленок аморфного углерода с ионно-плазменной стимуляцией процесса

Статья

формат pdf
размер 221.83 КБ
добавлен 09 июня 2011 г.

Статья. Опубликована в Материалы XХХIХ научно-технической конференции по итогам работы профессорско-преподавательского состава СевКавГТУ за 2009 год. Том 1. Естественные и точные науки. Технические и прикладные науки. Ставрополь: СевКавГТУ, 2010. 2с. Прямое осаждение пленок непосредственно из пучков ионов является идеальным процессом, поскольку позволяет управлять энергией частиц осаждаемого материала [1,2]. Однако для реализации этого процесса т...

Auciello O., Flamm D.L. Plasma Diagnostics. Vol.1. Discharge parameters and chemistry

формат pdf
размер 29.11 МБ
добавлен 06 марта 2011 г.

Academic Press, San Diego, 1989, 456 c. В книге рассмотрены различные способы диагностики плазмы: 1) Оптическая диагностика для плазмы низкого давления и плазменных технологий 2) Плазменная диагностика в газоразрядных источниках света 3) Ленгмюровские зонды 4) Масс-спектрометрия плазмы 5) СВЧ диагностика 6) Парамагнитный резонанс как диагностика плазмы 7) Диагностика изотермических плазменных процессов.