Курсовая работа
  • формат doc
  • размер 2.1 МБ
  • добавлен 09 февраля 2011 г.
Курсовая работа по технологии оптической контактной литографии
Введение.
Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС.
Фоторезисты.
Фотошаблоны.
Контактная фотолитография.
Дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии.
Бесконтактная фотолитография.
Рентгеновская литография.
Электронно-лучевая литография.
Описание технологического процесса.
Выбор и описание технологического оборудования.
Оценка технологического процесса.
Ведомость технологической документации.
Ведомость оборудования.
Маршрутная карта.
Карта операционного контроля.
Операционная карта универсальная.
Заключение.
Список литературы.
МГОУ.
5 курс.
35 стр.
Смотрите также

Дорфман В.Ф. Микрометаллургия в микроэлектронике

  • формат djvu
  • размер 12.91 МБ
  • добавлен 17 июня 2010 г.
Изложены физико-химические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем. Проанализировано влияние размерных эффектов в твердом теле и в процессах его формирования на развитие микроэлектроники, обсуждены предельные возможности миниатюризации и интеграции полупроводниковых приборов. Рассмотрены механизмы неравновесных процессов формирования структуры приборов. Систематизированы известные селективные физико-химические явления, ис...

Кобболд Р. Теория и применение полевых транзисторов

  • формат djvu
  • размер 3.24 МБ
  • добавлен 16 августа 2011 г.
Пер. с англ. Макарова В.В. Л., "Энергия", 1975 г. 304 стр. с ил. Книга охватывает широкий круг вопросов, начиная от физических принципов работы полевых приборов различных типов (транзисторов с управляющим p-n- переходом, МОП- транзисторов, плёночных полевых транзисторов) и кончая методами расчёте электронных схем, выполненных на этих приборах. Вопросы теории сопоставлены с данными исследований реальных устройств, рассмотрены ограничения, определя...

Лабораторная работа №1

Лабораторная
  • формат doc
  • размер 114.64 КБ
  • добавлен 15 января 2007 г.
ПП1. Лабораторная работа по курсу "Твердотельная электроника" для студентов специальности "Промышленная электроника". Вывод не лучший, но сдать можно :)

Лабораторная работа №2

Лабораторная
  • формат doc
  • размер 238.11 КБ
  • добавлен 19 января 2008 г.
Исследование динамических характеристик и параметров биполярных транзисторов

Лабораторная работа №2

Лабораторная
  • формат xls, doc
  • размер 128.83 КБ
  • добавлен 16 января 2007 г.
ПП2. Лабораторная работа "Исследование динамических характеристик и параметров биполярных транзисторов" для студентов специальности "Промышленная электроника"

Лабораторная работа №4

Лабораторная
  • формат doc, xls
  • размер 156.25 КБ
  • добавлен 16 января 2007 г.
ПП4. Лабораторная работа "Исследование статических характеристик, статических и дифференциальных параметров полевых транзисторов" для студентов специальности "Промышленная электроника"

Негоденко О.Н., Мирошниченко С.П. Материалы электронной техники

  • формат pdf
  • размер 1.5 МБ
  • добавлен 20 августа 2011 г.
Конспект лекций. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2006. В 2-х частях. - Ч.1, 66 с. Ч.2. 47 c. В пособии приводятся основные физические явления в полупроводниках и активных диэлектриках, описываются их электрические, физико-химические и механические свойства. Методическое пособие предназначено для изучения курса "Материалы электронной техники" студентами специальностей 210200, 210600, а также может быть полезно студентам других специальностей. Пособие под...

Пасынков В.В., Сорокин В.С. Материалы электронной техники

  • формат djvu
  • размер 6.24 МБ
  • добавлен 30 октября 2009 г.
Учеб. для студ. вузов по спец. электронной техники. 3-е изд. — СПб.: Издательство «Лань», 2001. — 368 с, ил. — (Учебники для вузов. Специальная литература). В книге изложены основы строения материалов и физики явлений, происходящих в проводниковых, полупроводниковых, диэлектрических и магнитных материалах, их электрические и магнитные свойства, а также сведения о технологии производства важнейших материалов и их применении.

Расчетная работа 3. Вариант 11.

rgr
  • формат doc
  • размер 34.2 КБ
  • добавлен 30 сентября 2006 г.
Расчетно-графическая работа по твердотельной электронике №3. Вариант 11.

Физические измерения в микроэлектронике

  • формат pdf
  • размер 3.29 МБ
  • добавлен 28 марта 2011 г.
/ В. А. Пилипенко, В. Н. Пономарь, В. А. Горушко, А. А. Солонинко -Мн.: БГУ, 2003. - 171 с.: ил. ISBN 985-445-950-0. В монографии систематизированы физические методы исследования структуры, фазового состава, электрофизических свойств материалов и многослойных тонкопленочных структур, используемых в микроэлектронике для создания СБИС, а также функционального контроля микросхем. Представлены результаты по применению различных методов контроля на ра...