Распопов В. Я. Микромеханические приборы: учебное пособие. - М.:
Машиностроение, 2007. - 400с., ил.
Изложены терминология, классификация, конструкции и принципы работы
микромеханических осевых и маятниковых акселерометров, датчиков
давления и гироскопов LL-, LR- и RR-типов. Даны описание и расчет
прямых (датчиков перемещений и деформаций) и обратных (датчиков сил
и моментов) преобразователей в микромеханическом исполнении, схемы
электронной обработки сигналов.
Приведены примеры электронного устранения ошибок микрогироскопов, в
частности квадратной; описана электронная частотная настройка
режимов работы микрогироскопов. Рассмотрены конструктивные схемы и
расчет упругих повесов и мембран, динамика чувствительных
элементов, включая уравнения движения, передаточные функции,
частотные характеристики и функциональные зависимости перемещений
чувствительных элементов от измеряемой величины. Даны расчет
газового и конструкционного демпфирования, теория и расчет
измерительных цепей приборов прямого и компенсационного
преобразований, а также основные погрешности измерений, примеры
вычислений.
Для студентов вузов, обучающихся по специальности "Приборостроение"
направления подготовки "Приборостроение", а также может быть
полезно аспирантам и инженерно-техническим работникам.
Распопов В.Я. Микромеханические приборы: учебное пособие
Смотрите также
Ворзобова Н.Д., Денисюк И.Ю. Оптические методы формирования микроэлементов информационных систем
СПб., СПбИТМО, 2008 г. 100 стр. В учебном пособии рассмотрены процессы формирования микроструктурных элементов фотоники и информационных систем (MEMS и MEOMS), в том числе фотонных кристаллов, основанные на оптических методах: оптической литографии, голографии и фотоотверждения полимеров. Приведены основы современных технологий получения элементов и структур микронных, субмикронных и наноразмеров. Пособие предназначено для бакалавров и магистров,...
Зюбрик А.И., Бурак Я.В., Савицкий И.В. Акустоэлектроника
В учебном пособии изложены основы теории упругих объемных и поверхностных волн (УОВ, УПВ) в твердом теле, принципы построения и расчета приборов с использованием УОВ и УПВ, описаны свойства материалов акустоэлектроники и наиболее характерные устройства на их основе, а также технология акустоэлектронных узлов и аппаратуры. Намечены пути их совершенствования и развития. Пособие предназначено студентам, специализирующимся в области радиофизики, элек...
Колпаков Ф.Ф. и др. Микроэлектромеханические устройства в радиотехнике и системах телекоммуникаций
Учеб. пособие. / Ф. Ф. Колпаков, Н. Г. Борзяк, В. И. Кортунов. - Харь-ков: Нац. аэрокосм. ун-т "Харьк. авиац. ин-т", 2006. - 82 с. Представлен систематизированный аналитический обзор основных современных зарубежных публикаций по тематике разработки и использования микроэлектромеханических устройств. Приведен обширный перечень базовых работ, а также изложен оригинальный материал по результатам научно-исследовательских работ, проведенных в «ХАИ»...
Круглик И.В., Левицкий А.А., Левицкая З.В. Компоненты Микросистемной Техники
Красноярск, Сибирский Федеральный Университет,2007 г. (210 стр. ). 1. Сенсоры и микроактюаторы. Лекция 1 Введение. Лекция 2 Сенсоры. Лекция 3 Сенсоры (продолжение). Лекция 4 Сенсоры (окончание). Лекция 5 Актюаторы. Лекция 6 Актюаторы (продолжение). Лекция 7 Актюаторы (окончание). 2. Микромеханизмы и миниатюрные управляемые электронные и оптические компоненты. Лекция 8 Управляемые микроэлектрорадиокомпоненты. Лекция 9 Управляемые оптоэлектромехани...
Левицкий А.А., Левицкая З.В., Ситников А.М. Компоненты микросистемной техники. Лабораторный практикум
Учебное пособие / А. А. Левицкий. - Красноярск: СФУ, 2007 – 85 с. Представлен лабораторный практикум по дисциплине «Компоненты микросистемной техники». Приведено краткие теоретические сведения. Даны указания к выполнению лаборатор-ных работ. Рекомендуется студентам, изучающим вопросы проектирования компонентов микро-системной техники.
Лысенко И.Е. Учебный курс по компонентам микросистемной техники
Лекции: Лекция 1. "Введение. Основные понятия и термины. " Лекция 2. "Параметры и характеристики микросистем. " Лекция 3. "Чувствительные элементы для микросистем. " Лекция 4. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 1. Пьезоэлектрические датчики. " Лекция 5. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 2. " Лекция 6. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 3. " Лекция 7. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 4. " Лекция 8. "Актюаторные элементы МСТ. Микромеханические ключи. "...
Овечкин Ю.А. Микроэлектроника
- М.: Радио и связь, 1982. - 288 с., ил. Рассматриваются характеристики и параметры различных классов цифровых и аналоговых интегральных микросхем; излагаются методы изготовления полупроводниковых и гибридных интегральных микросхем; даются методы сборки и их конструкции. Обсуждаются вопросы надежности и особенности испытаний ИС. Приводятся сведения по перспективным направлениям микроэлектроники: БИС, микропроцессорам, функциональной электронике....
Презентация - Круглик И.В., Левицкий А.А., Левицкая З.В. Компоненты микросистемной техники
Наглядное пособие. - Красноярск: Сибирский Федеральный Университет,2007. - 261 слайд. Введение. Сенсоры. Актюаторы. Управляемые микроэлектрорадиокомпоненты. Управляемые оптоэлектромеханические микрокомпоненты. Микроустройства обработки, хранения и записи информации. Микромеханизмы. Микросистемы для генерации и преобразования энергии и движения. Микросистемы хранения и рекуперации энергии. Интеллектуальные и мультисенсорные системы. Миниатюрные а...
Meханцев Е.Б. Физические основы Микросистемной Техники и Специальные Вопросы Микросистемной Техники
Таганрог, ТГРТУ (ЮФУ), 2007 г. , 125 стр. Учебное пособие. Рассмотрена общая классификация датчиков и теория измерений, основные схемы включения датчиков и их расчёт, физические основы микросистемной техники и полупроводниковых приборов, тензорезистивные сенсоры, пьезоэлектрические сенсоры, термоэлектрические сенсоры, датчики ускорения, вибрации, потока, гироскопы, магнитные сенсоры, датчики расхода и микронасосы, комбинированные сенсоры и т. д.