Рыжиков И.В. Лекции по технологии микро-электронных устройств

М.: Техносфера, 2004, 528 с. В монографии подробно рассмотрены вопросы проектирования и применения, а также технологические аспекты производства разнообразных микроэлектромеханических устройств: переключателей, регулируемых индукторов и конденсаторов, фильтров, фазовращателей, линий передач и антенн, приведены преимущества и недостатки каждой отдельной конструкции и указаны способы их оптимизации. Целая глава посвящена такой важной теме, как монт...

Учеб. пособие. / Ф. Ф. Колпаков, Н. Г. Борзяк, В. И. Кортунов. - Харь-ков: Нац. аэрокосм. ун-т "Харьк. авиац. ин-т", 2006. - 82 с. Представлен систематизированный аналитический обзор основных современных зарубежных публикаций по тематике разработки и использования микроэлектромеханических устройств. Приведен обширный перечень базовых работ, а также изложен оригинальный материал по результатам научно-исследовательских работ, проведенных в «ХАИ»...

Учебное пособие / А. А. Левицкий. - Красноярск: СФУ, 2007 – 85 с. Представлен лабораторный практикум по дисциплине «Компоненты микросистемной техники». Приведено краткие теоретические сведения. Даны указания к выполнению лаборатор-ных работ. Рекомендуется студентам, изучающим вопросы проектирования компонентов микро-системной техники.

Подготовка подложек. Эпитаксия. Осаждение окисных плёнок. Окисление. Диффузия. Ионная имплантация. Литография. Травление. Металлизация. Технологии изготовления СБИС. Методы сборки и герметизации. Методы контроля и диагностики

Рассматриваются базовых принципов функционирования и конструирования механических и электромеханических элементов и устройств, реализуемых на микроуровне, а также основные технологии изготовления микроустройств. (Показаны основные маршруты изготовления, используемые в современных производствах)

Наглядное пособие. - Красноярск: Сибирский Федеральный Университет,2007. - 261 слайд. Введение. Сенсоры. Актюаторы. Управляемые микроэлектрорадиокомпоненты. Управляемые оптоэлектромеханические микрокомпоненты. Микроустройства обработки, хранения и записи информации. Микромеханизмы. Микросистемы для генерации и преобразования энергии и движения. Микросистемы хранения и рекуперации энергии. Интеллектуальные и мультисенсорные системы. Миниатюрные а...

MEMS (Micro-Electro Mechanical Systems). Базовые понятия. Микроактюатор.DMD для DLPЭлектромеханическая память. Электромеханика в телекоммуникациях. Перспективы MEMS – дисплеев. MEMS - источники питания для портативных устройств. MEMS – матрицы. Датчики. Датчики для измерения параметров движения на основе MEMS-технологии. Современный рынок MEMS. MEMS технологии в России. Перспективные проекты.

Микро-электромеханическая система. Содержание. Принцип действия и области применения. Базовые понятия. Датчики и микроактюаторы. Самый маленький датчик. Нанодатчики в космосе. «Электромеханика» в телекоммуникациях. Конструктивные особенности и основные характеристики. Технология MEMS. MEMS – дисплей. MEMS – источники питания для портативных устройств. Схемы включения. DMD для DLP. Электромеханическая память. Литература. Приложение А. Системы на о...

М., Советское радио, 1980 г., 265 стр. Рассмотрены функциональные элементы и устройства на поверхностных акустических волнах для радиотехнических применении. Конспективно изложены физические основы возбуждения и распростраиения поверхностных акустических волн (ПАВ) в твердом теле. Приведена функциональная классификация, в рамках которой рассмотрены характерные конструкции ПАВ элементов и устройств различного назначения. Основное внимание уделено...

Москва: Техносфера, 2006. – 632 с. В книге приведены конструкции и методы расчета пьезокерамических преобразователей для измерения различных физических величин. Книга предназначена для научных работников, студентов, специалистов в области разработки приборов, элементов и устройств вычислительной техники и систем управления.