Курс лекций Физика тонких пленок и покрытий

  • Статья
  • формат doc
  • размер 723.27 КБ
  • добавлен 06 июня 2011 г.
ГГУ им. Ф. Скорины, физическая электроника,9 лекций: тонкие пленки и покрытия, их классификация, адсорбция и зародышеобразование, нанесение вакуумных покрытий плазмоионными и электронно-лучевыми методами, реактивные методы нанесения покрытий, углеродных алмазоподобных покрытий, ионная имплантация, плазмохимическая обработка материалов. Составитель: Рогачев