Шепілко Є. В. Вакуумна техніка. Конспект лекцій. (укр.)

Конспект лекцій з курсу Електротехнологічні установки та пристрої. Вакуумна техніка для студентів денної форми навчання спеціальності Світлотехніка і джерела світла, спеціалізації
7.090606. Авт. Є. В. Шепілко. .
Харків: ХНАМГ, 2005. - 122 с.

Головні параметри та опис стану газів.
Молекулярно-кінетична теорія газів. .
Число молекул, що ударяються в стінку. Течія газу через отвір у тонкій стінці. Закон Грехема. .
Явища переносу в газах.
Течія газу через вакуумні магістралi.
Основні визначення фізико-хімічних явищ при низьких тисках оточуючих газів.
Хімічні явища у вакуумі.
Сорбційні явища.
Теоретичні основи процесу відкачки.
Техніка отримання вакууму. Вакумні насоси.
Обертові насоси.
Пароструминні насоси.
Насоси високого вакууму.
Вимірювання низьких тисків.
Теплові манометричні перетворювачі.
Вимірювання парціальних тисків.
Вакуумні системи і елементи їх розрахунку.