343
всестороннего научного исследования, моделирования рефлектометриче-
ского эксперимента, постановки и решения новых теоретических задач.
К основным расчетным модулям пакета относятся программы вычис-
ления рефлектометрических кривых для модельных структур (прямая за-
дача), а также программы поиска модели, наилучшим образом, описы-
вающей кривую рассеяния (обратная задача). Предусматривается не-
сколько алгоритмов решения прямой и обратной
задач, что позволяет вы-
бирать наиболее подходящий вариант для каждого конкретного случая,
либо, находить среди них наиболее устойчивые решения. В комплексе
возможны вычисления кривой рассеяния по структурной модели профиля
электронной плотности с учетом шероховатости интерфейсов с использо-
ванием методов Паррата, Фурье, матричного метода и с применением
сглаживания [3], моделирующего «замазывание» кривой
из-за неучиты-
ваемых экспериментальных погрешностей. Предусмотрен поиск парамет-
ров модели методом локальной минимизации и построения соответст-
вующего профиля электронной плотности, графика Q-функции (функции
Паттерсона), одномерных сечений целевой функции вблизи найденного
минимума с целью оценки устойчивости полученного решения. Возможно
вычисление некоторых инвариантов кривой рассеяния пленки (средней
электронной плотности, интеграла Q-функции на
заданном интервале
значений) [4]. Реализован алгоритм, основывающийся на разностном ме-
тоде решения обратной задачи рефлектометрии, при наличии измерений
рассеяния от идентичных пленок, сформированных на разных типах под-
ложек [5].
Пакет программ BARD, являющийся модульным программным ком-
плексом, основан на оригинальных авторских разработках, и нацелен на
решение конкретных научных и технологических задач.
Список литературы
1. Астафьев С.Б., Щедрин Б.М., Янусова Л.Г. Решение обратной задачи восстановления
строения пленки по данным рефлектометрии // Прикл. матем. и информ., №21. С.19 (2005).
2. Astaf'ev S.B., Schedrin B.M., Yanusova L.G. New program solutions in mathematical mod-
eling and analysis of reflectometry experiment data // International conference "Electron Microsco-
py and Multiscale Modeling-2007 EMMM'2007", Moscow, 3-7 September 2007. Book of
abstracts.
3. Астафьев С.Б., Щедрин Б.М., Янусова Л.Г. Сглаживание кривой интенсивности рас-
сеяния для улучшения сходимости метода сближения расчетных и экспериментальных кри-
вых
// Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, №10, C.39-
45 (2004).
4. Астафьев С.Б., Щедрин Б.М., Янусова Л.Г. Инварианты рефлектометрических кри-
вых – структурные характеристики тонких пленок // Крист., Т.51. №1. С.133-138 (2006).
5. Астафьев С.Б., Борисова С.Ф., Щедрин Б.М., Янусова Л.Г. Разностный метод решения
обратной задачи рефлектометрии многослойных пленок
// Крист., Т.51. №4. С.727-732
(2006).