Специальность 01.04.07 — физика конденсированного состояния
Автореферат диссертации дфмн – М. : 2010. – 47 с.
Электронная микроскопия является мощным и практически единственным методом, позволяющим напрямую визуализировать, контролировать и целенаправленно изменять структуру тонких сегнетоэлектрических пленок и слоев металлизационных систем при формировании многослойных композиций, осуществляя тем самым последовательное продвижение вперед в создании наноструктур для микро- и наноэлектроники с требуемым уровнем электрофизических характеристик.
Цель работы: развитие новых методов формирования и поиск новых типов наноструктур различной размерности на основе сегнетоэлектрических оксидов (ЦТС, ТБС) и углеродных покрытий (нановолокон/нанокомпозитов), перспективных для применения в микро- и наноэлектронике.
Автореферат диссертации дфмн – М. : 2010. – 47 с.
Электронная микроскопия является мощным и практически единственным методом, позволяющим напрямую визуализировать, контролировать и целенаправленно изменять структуру тонких сегнетоэлектрических пленок и слоев металлизационных систем при формировании многослойных композиций, осуществляя тем самым последовательное продвижение вперед в создании наноструктур для микро- и наноэлектроники с требуемым уровнем электрофизических характеристик.
Цель работы: развитие новых методов формирования и поиск новых типов наноструктур различной размерности на основе сегнетоэлектрических оксидов (ЦТС, ТБС) и углеродных покрытий (нановолокон/нанокомпозитов), перспективных для применения в микро- и наноэлектронике.