Наноматериалы и нанотехнологии
Академическая и специальная литература
  • формат djvu
  • размер 1,33 МБ
  • добавлен 1 апреля 2015 г.
Акуленок М.В., Андреев В.М., Громов Д.Г. и др. Введение в процессы интегральных микро - и нанотехнологий. Том 2
Изд. Бином. Лаборатория знаний, 2010-2011 - (Нанотехнологии).
Т. 2: Технологические аспекты 252стр.
Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и "сухого" травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро и наноэлектроники, оптоэлектроники и микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум термического и ионно-плазменного осаждения, ионного ионно химического и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии.
Для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области микро и наноэлектроники, микроэлектромеханических систем, физики твердого тела, материаловедения. Книга может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих областей.
Возможность скачивания данного файла заблокирована по требованию правообладателя.
Похожие разделы