Учеб. пособие. — М.: Можайский полиграфический комбинат оформление,
2011. — 184 с. — ISBN 978-5-8493-0202-7
Данное учебное пособие посвящено физическим, химическим и
технологическим основам микро- и наноэлектроники. Подробно
рассмотрены современные технологические процессы, используемые при
создании электронных устройств: литография, травление, ионная
имплантация, нанесение пленок диэлектриков, металлизация. Для
каждого из процессов приводится физическое обоснование, описывается
технологическое оборудование, рассказывается о принципиальных
возможностях и ограничениях метода.
Для понимания некоторых процессов микроэлектронной технологии требуется знание физико-химических теорий – теории зародыше образования, остовной теории. Их изучению посвящены отдельные главы пособия.
Для студентов старших курсов и аспирантов.
Для понимания некоторых процессов микроэлектронной технологии требуется знание физико-химических теорий – теории зародыше образования, остовной теории. Их изучению посвящены отдельные главы пособия.
Для студентов старших курсов и аспирантов.