Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук.
- Москва, МИЭТ, 2004. - 149 с.
Специальность 05.27.01 - твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Оглавление
Введение
1 Состояние вопроса по созданию планарных квантовых проводников на основе углеродных нанотрубок и квазиодномерных структур
1.1 Основные направления в нанотехнологии планарных одномерных проводников
1.2 Развитие методов создания квантово-размерных наноконтактов на основе локального окисления, индуцированного током
1.3 Основные параметры, характеризующие свойства нанотрубок
Структура графита
Угол хиральности и диаметр нанотрубок
Электронная структура нанотрубок
1.4 Методы получения углеродных наноструктур
Термическое разложение графита в дуговом разряде
Химическое осаждение из газовой фазы
Метод лазерного испарения
Холодная деструкция графита
1.5 Исследование нанотрубок с использованием микроскопии высокого разрешения
1.6 Электрические свойства нанотрубок
Выводы по гл. 1
2 Разработка методик создания образцов наноструктур на основе нанотрубок и их контроля в атомно-силовом микроскопе
2.1 Сравнение методов высаживания нанотрубок, полученных в различных технологических процессах
2.2 Разработка режима наблюдения различного типа нанотрубок на подложках
Выбор параметров работы микроскопа и типа кантилеверов
Деформация нанотрубок на подложках
Влияние взаимодействия иглы АСМ с нанотрубкой на размеры наблюдаемых нанообъектов
2.3 Манипулирование и модификация нанотрубок с использованием атомно-силового микроскопа
2.4 Развитие бесконтактной емкостной микроскопии для исследования проводящих нанообъектов на диэлектрических подложках
Моделирование микроскопии индуцированного электрического поля в приближении точечного потенциала
Апробация методики на тестовых проводящих и диэлектрических объектах
Применение микроскопии индуцированного электрического поля для неразрушающего контроля нанотрубок в электрических схемах
2.5 Нанотрубки с разветвленной структурой
Выводы по главе 2
3 Разработка тестового кристалла и исследование проводимости углеродных нанотрубок
3.1 Технологический маршрут формирования кристалла
3.2 Схемы измерения электрических свойств нанотрубок.
3.3 Электрические характеристики структур на основе нанотрубок
Измерение проводимости при комнатной температуре в малых и средних полях
Исследование полевого эффекта
3.4 Анализ механизмов проводимости структур на основе нанотрубок
Квантовый транспорт в двумерной графитовой системе
Формирование контакта между металлом и нанотрубкой
Изгиб нанотрубок на контактах
Одномодовый транспорт в полевом транзисторе с барьером Шоттки на основе углеродных нанотрубок
Выводы по главе 3
4 Формирование функциональных элементов наноэлектроники на основе сеток пучков однослойных углеродных нанотрубок и исследование их основных параметров
4.1 Модуляция проводимости структур на основе пучков однослойных углеродных нанотрубок
Особенности проводимости пучков однослойных углеродных нанотрубок
Формирование полупроводникового канала проводимости в пучках
Параметры макета транзистора на основе пучка нанотрубок с преобладающим полупроводниковым каналом проводимости
4.2 Логические ключи на основе сеток пучков однослойных углеродных нанотрубок
Реализация инвертора с линейной нагрузкой на основе внешнего резистора
Реализация инвертора с нелинейной нагрузкой на основе двух интегрированных ОСНТ транзисторов р-типа
4.3 Разработка методов улучшения и стабилизации контакта нанотрубка / металл
Токовая активация миграции атомов в интерфейсной фазе золото / нанотрубка
Формирование углеродных контактов в качестве токоподводящих электродов
Выбор диэлектрического покрытия структур на основе пучков углеродных нанотрубок
Выводы по главе 4
Заключение
Благодарность
Список использованных сокращений
Список литературы
Приложение
Специальность 05.27.01 - твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Оглавление
Введение
1 Состояние вопроса по созданию планарных квантовых проводников на основе углеродных нанотрубок и квазиодномерных структур
1.1 Основные направления в нанотехнологии планарных одномерных проводников
1.2 Развитие методов создания квантово-размерных наноконтактов на основе локального окисления, индуцированного током
1.3 Основные параметры, характеризующие свойства нанотрубок
Структура графита
Угол хиральности и диаметр нанотрубок
Электронная структура нанотрубок
1.4 Методы получения углеродных наноструктур
Термическое разложение графита в дуговом разряде
Химическое осаждение из газовой фазы
Метод лазерного испарения
Холодная деструкция графита
1.5 Исследование нанотрубок с использованием микроскопии высокого разрешения
1.6 Электрические свойства нанотрубок
Выводы по гл. 1
2 Разработка методик создания образцов наноструктур на основе нанотрубок и их контроля в атомно-силовом микроскопе
2.1 Сравнение методов высаживания нанотрубок, полученных в различных технологических процессах
2.2 Разработка режима наблюдения различного типа нанотрубок на подложках
Выбор параметров работы микроскопа и типа кантилеверов
Деформация нанотрубок на подложках
Влияние взаимодействия иглы АСМ с нанотрубкой на размеры наблюдаемых нанообъектов
2.3 Манипулирование и модификация нанотрубок с использованием атомно-силового микроскопа
2.4 Развитие бесконтактной емкостной микроскопии для исследования проводящих нанообъектов на диэлектрических подложках
Моделирование микроскопии индуцированного электрического поля в приближении точечного потенциала
Апробация методики на тестовых проводящих и диэлектрических объектах
Применение микроскопии индуцированного электрического поля для неразрушающего контроля нанотрубок в электрических схемах
2.5 Нанотрубки с разветвленной структурой
Выводы по главе 2
3 Разработка тестового кристалла и исследование проводимости углеродных нанотрубок
3.1 Технологический маршрут формирования кристалла
3.2 Схемы измерения электрических свойств нанотрубок.
3.3 Электрические характеристики структур на основе нанотрубок
Измерение проводимости при комнатной температуре в малых и средних полях
Исследование полевого эффекта
3.4 Анализ механизмов проводимости структур на основе нанотрубок
Квантовый транспорт в двумерной графитовой системе
Формирование контакта между металлом и нанотрубкой
Изгиб нанотрубок на контактах
Одномодовый транспорт в полевом транзисторе с барьером Шоттки на основе углеродных нанотрубок
Выводы по главе 3
4 Формирование функциональных элементов наноэлектроники на основе сеток пучков однослойных углеродных нанотрубок и исследование их основных параметров
4.1 Модуляция проводимости структур на основе пучков однослойных углеродных нанотрубок
Особенности проводимости пучков однослойных углеродных нанотрубок
Формирование полупроводникового канала проводимости в пучках
Параметры макета транзистора на основе пучка нанотрубок с преобладающим полупроводниковым каналом проводимости
4.2 Логические ключи на основе сеток пучков однослойных углеродных нанотрубок
Реализация инвертора с линейной нагрузкой на основе внешнего резистора
Реализация инвертора с нелинейной нагрузкой на основе двух интегрированных ОСНТ транзисторов р-типа
4.3 Разработка методов улучшения и стабилизации контакта нанотрубка / металл
Токовая активация миграции атомов в интерфейсной фазе золото / нанотрубка
Формирование углеродных контактов в качестве токоподводящих электродов
Выбор диэлектрического покрытия структур на основе пучков углеродных нанотрубок
Выводы по главе 4
Заключение
Благодарность
Список использованных сокращений
Список литературы
Приложение