Борисенко В.Е., Воробьева А.И. Наноэлектроника. Часть 2. Нанотехнология

Минск, БГУИР, 2004. - 88 с. Учебное пособие. В третей части учебного пособия рассмотрены основные направления в создании устройств с одноэлектронным переносом носителей заряда, их основные типы и принципы работы.

Минск, БГУИР, 2003. - 41 с. Учебное пособие. В первой части рассмотрена физическая природа и основные закономерности проявления фундаментальных явлений (квантовые ограничения, баллистический транспорт и квантовая интерференция, туннелирование).

Учебное пособие. Томск, В-Спектр, 2011, 263 с. В учебное пособие включено описание новых технологических процессов, которые составляют основу современного производства сверхбольших интегральных схем (СБИС) и других устройств кремниевой наноэлектроники. К таким процессам относятся субмикронная литография, ионное легирование, быстрый термический отжиг, ионное и плазмохимическое травление наноструктур, атомно-слоевое и ионно-плазменное осаждение мет...

Учебный план: Что скрывается за приставкой «нано»? (Еремин В.В., Дроздов А.А.) Нанонаука и нанохимия. Размерный эффект. Классификация нанообъектов. Методы синтеза и исследования наночастиц. (Еремин В.В., Дроздов А.А.) Классификация методов синтеза: «сверху вниз» и «снизу вверх». Химические методы синтеза («снизу-вверх»). Методы визуализации и исследования наночастиц. Нанотехнология. (Еремин В.В., Дроздов А.А.) Фундаментальные и прикладные исследо...

Статья. Опубликована на сайте , 2010, 7 страниц. В последнее время многим стало понятным, что модное слово «нанотехнология» есть процессы производства на атомном и молекулярном уровне в развитии техники. Читатели вероятно подумают, что статья есть дань моде от автора, однако следует повременить с подобными выводами. Здесь разберем вопрос – что может дать нанотехнология современной технике.

Европейская комиссия, 2006. - 60 с. Цель данной брошюры - показать, что такое нанотехнология, и что она может предложить. Книга полностью иллюстрирована.

М.,Физматлит, 2008 г., 368 с. Монография написана целым коллективом авторов - преподавателей МГУ под редакцией декана факультета наук о материалах Третьякова Ю. Д. Это энциклопедия, в которой в популярной форме понятно изложены все направления современного развития нанотехнологий: нанохимия, нанофизика, наноэлектроника, НЭМС, нанобиотехнологии, наномедицина и т. д. Книга идеальна для написания рефератов и подготовки докладов и литературных обзор...

М.: Физматлит, 2008 г., 368 с. Под редакцией академика РАН Ю. А. Третьякова Монография написана целым коллективом авторов - преподавателей МГУ под редакцией декана факультета наук о материалах Третьякова Ю. Д. Это энциклопедия, в которой в популярной форме понятно изложены все направления современного развития нанотехнологий: нанохимия, нанофизика, наноэлектроника, НЭМС, нанобиотехнологии, наномедицина и т. д. Книга идеальна для написания рефе...

М., Физматкнига, 2007 г. , 465 стр. Монография содержит подробный материал по пяти дисциплинам направления подготовки «Нанотехнология в электронике»: физико-химия наноструктурных материалов, материалы и методы нанотехнологии, методы диагностики и анализа микро- и наносистем, элементы и приборы наноэлектроники, квантовая и оптическая электроника.

М., Физматкнига, 2007 г. , 465 стр. Монография содержит подробный материал по пяти дисциплинам направления подготовки «Нанотехнология в электронике»: физико-химия наноструктурных материалов, материалы и методы нанотехнологии, методы диагностики и анализа микро- и наносистем, элементы и приборы наноэлектроники, квантовая и оптическая электроника.