Воронеж: ВГУ, 2002. - 23 с.
Настоящее пособие является продолжением учебно-методических материалов по физике полупроводников, в котором рассмотрены объемные свойства полупроводниковых материалов и методы их исследования. В пособии рассмотрена классификация поверхностных электронных состояний, дано введение в феноменологическую теорию поверхности и описание основных поверхностных свойств полупроводников. Особое внимание уделено моделированию важнейших электрофизических характеристик приповерхностной области пространственного заряда полупроводника, так как именно эти характеристики определяют рабочие параметры МДП-транзисторов и других полевых полупроводниковых приборов, активно действующей областью которых является приповерхностная область полупроводника.
Материалы учебного пособия подготовлены для самостоятельных и практических занятий по курсу "Физика полупроводников", который читается для студентов 3 курса, обучающихся по специальности "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы", однако могут представлять интерес и для студентов других физических специальностей.
Настоящее пособие является продолжением учебно-методических материалов по физике полупроводников, в котором рассмотрены объемные свойства полупроводниковых материалов и методы их исследования. В пособии рассмотрена классификация поверхностных электронных состояний, дано введение в феноменологическую теорию поверхности и описание основных поверхностных свойств полупроводников. Особое внимание уделено моделированию важнейших электрофизических характеристик приповерхностной области пространственного заряда полупроводника, так как именно эти характеристики определяют рабочие параметры МДП-транзисторов и других полевых полупроводниковых приборов, активно действующей областью которых является приповерхностная область полупроводника.
Материалы учебного пособия подготовлены для самостоятельных и практических занятий по курсу "Физика полупроводников", который читается для студентов 3 курса, обучающихся по специальности "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы", однако могут представлять интерес и для студентов других физических специальностей.