Данилин Б.С. Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники

формат pdf
размер 3.18 МБ
добавлен 13 января 2011 г.

М.: Машиностроение, 1987. – 72 с.: ил. Под ред. В. К. Сырчина.
В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставлены основные виды насосов.
УДК 621.523.022.5:539.216.2.

Смотрите также

Виноградов М.И., Маишев Ю.П. Вакуумные процессы и оборудование ионно - и электронно-лучевой технологии

формат djvu
размер 1 МБ
добавлен 02 марта 2011 г.

М.: Машиностроение, 1989. - 56 с. Рассмотрено применение электронных пучков в электронно- литографичес ких установках (ЭЛУ), используемых в технологии производства твердотельных электронных прибоpов. Описано устройство и принцип действия, приведе ны основные технические параметры ЭЛУ и дана их классификация. Описано оборудование ионно -лучевой обработки и eгo основные элементы. Рассмотрены технологические процессы, в которых используются ионно -л...

Волков А.Н. и др. Вакуумная техника. Нанесение покрытий

формат pdf
размер 1.84 МБ
добавлен 25 января 2011 г.

Волков А. Н., Дьяченко В. А., Клюкин В. Ю. Вакуумная техника. Методы, технологические процессы и оборудование для нанесения покрытий: Учеб. пособие. СПб.: Изд-во СПбГТУ, 1996. - 44 с. Для студентов конструкторских специальностей 5-го курса механико-машиностроительного факультета, изучающих курсы "Вакуумная техника", "Оборудование для производства электровакуумных приборов", "Оборудование для производства полупроводниковых приборов". Пособие может...

Данилин Б.С. Вакуумные насосы и агрегаты

формат djvu
размер 1.81 МБ
добавлен 17 февраля 2010 г.

Под ред. Нилендера Р. А. – М.: Госэнергоиздат, 1957. – 112 стр.: ил. В книги приводится описание принципов работы и конструктивного оформления вращательных и пароструйных металлических вакуумных насосов и вакуумных агрегатов отечественного производства с указанием ряда их эксплуатационных данных. Книга рассчитана на лиц, занимающихся выбором, монтажом и эксплуатацией вакуумного оборудования; она может служить также учебным пособием для студентов...

Данилин Б.С. Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники

формат djvu
размер 1005.12 КБ
добавлен 01 марта 2010 г.

М.: Машиностроение, 1987. 72 с. В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставлены основные виды насосов.

Кеменов В.Н., Нестеров С.Б. Вакуумная техника и технология

формат pdf
размер 962.06 КБ
добавлен 06 апреля 2009 г.

М.: Издательство МЭИ, 2002. – 84 стр. Представлено описание основных областей применения вакуумной техники и технологии и дана краткая история развития вакуумной техники в России. Для студентов ИТТФ, ЭТФ МЭИ (ТУ) и МИЭМ (ТУ), обучающихся по специальностям «Техника и физика низких температур» и «Электронное машиностроение». История развития средств откачки в россии. Вакуумные технологии в металлургии. Вакуумные технологии в химии, нефтехимии и х...

Конев С.А. Вакуумная техника

формат doc
размер 642.79 КБ
добавлен 12 февраля 2011 г.

1997 г. - 20 с.: ил. Механические вакуумные насосы. Определение быстроты действия насосов. - Метод постоянного давления. - Метод постоянного объема. - Метод капилляра. Эжекторные вакуумные насосы. Высоковакуумные пароструйные насосы. Молекулярные насосы. Турбомолекулярные насосы. Адсорбционные насосы. Измерение давлений. - Механические манометры. Манометр Бурдона. - Жидкостные манометры. - Компрессионные манометры. Манометр Мак-Леода. - Те...

Кузьмин В.В. Расчет и проектирование вакуумных машин и установок

Практикум

формат pdf
размер 837.68 КБ
добавлен 22 марта 2011 г.

Учебное пособие (лабораторный практикум). СПб: Изд-во СПбГТУ, 2000. - 19 с.: ил. Предназначено для магистров по специальности "Вакуумные машины и установки". Соответствует государственному образовательному стандарту по специальности 551800 "Технологические машины и оборудование". Главное внимание уделено описанию экспериментальной аппаратуры и процессу выполнения лабораторных работ. Кроме того, излагаются положения, раскрывающие физико-техническу...

Курсовая работа - Особенности образования структур при вакуумном напылении

Курсовая работа

формат pdf
размер 1.43 МБ
добавлен 26 марта 2011 г.

Московский государственный институт радиоэлектроники, электроники и автоматики Дисциплина - Вакуумные плазменные технологические устройства М. : 2002г. , 30 стр.

Минайчев В.Е. Вакуумное оборудование для нанесения пленок

формат djvu
размер 898.2 КБ
добавлен 01 марта 2010 г.

М.: Машиностроение, 1978, 60 с. Кратко рассмотрены вакуумные технологические методы получения тонких пленок, которые находят все большее применение в различных областях науки и техники, а также некоторые прикладные вопросы вакуумной техники. Приведены классификация и технические данные. Описаны наиболее типичные испарительно-распылительные системы и установки для нанесения тонких пленок. Даны практические рекомендации по использованию оборудовани...

Третья Российская студенческая научно-техническая конференция Вакуумная техника и технология. Материалы конференции

Статья

формат djvu
размер 2.7 МБ
добавлен 23 января 2012 г.

Казань, 10-12 апреля 2007 г., 154с. Пленарные доклады. С.Б. Нестеров, профессор МЭИ, зам.директора НИИВТ им. С.А. Векшинского. Тенденции развития вакуумной техники, криогенной техники и нанотехнологии. Е.Н. Капустин, генеральный директор, А.С. Данилин, начальник НТЦ ОАО «Вакууммаш». Новое оборудование и перспективные разработки ОАО «Вакууммаш». К.Е. Демихов, профессор, Н.К. Никулин, доцент МГТУ им. Н.Э. Баумана. О создании и перспективах развития...