М., Техносфера, 2006 г. , 200 стр. В монографии проведена
классификация процессов и оборудования химического осаждения из
газовой фазы (ХОГФ, CVD), используемых в технологии производства
интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития.
Приведены основные характеристики элементов микро- и наноструктур
ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические
характеристики самих процессов и используемых реагентов.
Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и
проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при
осаждении функциональных слоев микросхем. Приведены основные
электрофизические характеристики осаждаемых пленок (Si, SiGe, SiO2,
Si3N4, HfO2, ZrO2, TaN и т. д. ) и металлов (W, Cu, Ta и т. д. ).
Киреев В.Ю., Столяров А.А. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
- формат pdf
- размер 4.93 МБ
- добавлен 26 сентября 2010 г.
Похожие разделы
- Академическая и специальная литература
- Информатика и вычислительная техника
- Микропроцессорные системы (МПС)
Смотрите также
Анищик В.М., Борисенко В.Е., Жданок С.А., Толочко Н.К., Федосюк В.М. Наноматериалы и Нанотехнологии
- формат pdf
- размер 14.57 МБ
- добавлен 27 ноября 2010 г.
Минск, изд. БГУ, 375 стр. , 2008 г. В монографии обобщены и систематизированы многочисленные фундаментальные и прикладные знания по разнообразным наноматериалам и нанотехнологиям, дана общая характеристика наноматериалов и нанотехнологий, рассмотрены основные методы исследования наноматериалов, описаны структура и свойства различных видов наноматериалов, области их применения, особенности получения. Адресуется специалистам в области физики конден...
Беляков А.В. Методы получения неорганических неметаллических наночастиц
- формат djvu
- размер 2.48 МБ
- добавлен 21 августа 2010 г.
Москва, РХТУ, 2003. - 80 с. Рассмотрены основные методы получения неорганических неметаллических порошков химическими методами с точки зрения их использования для получения наночастиц: осаждение в водных или неводных средах, осаждение в газовых средах, гетерофазный синтез, золь-гель метод, криохимический метод, получение в гидротермальных условиях, осаждение в плазме или луче лазера, электроэрозионный метод, ударно-волновой синтез, самораспростра...
Бобринецкий И.И. Формирование и исследование электрофизических свойств планарных структур на основе углеродных нанотрубок
Дисертация- формат pdf
- размер 3.63 МБ
- добавлен 17 августа 2011 г.
Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. - Москва, МИЭТ, 2004. - 149 с. Специальность 05.27.01 - твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах Оглавление Введение 1 Состояние вопроса по созданию планарных квантовых проводников на основе углеродных нанотрубок и квазиодномерных структур 1.1 Основные направления в нанотехнологии планарных одномерных провод...
Грицына В.И. и др. Особенности морфологии алмазных покрытий с нанокристаллической структурой
Статья- формат pdf
- размер 1.96 МБ
- добавлен 06 декабря 2011 г.
Статья. Опубликована в журнале Вопросы атомной науки и техники, №4, 2011, с.165-168. Приведены результаты исследований морфологии наноструктурных алмазных покрытий, полученных в широком диапазоне условий их синтеза из газовой фазы. В зависимости от условий их получения возможна реализация нескольких морфологических типов структуры поверхности – глобулярной и пластинчатой. Исследования шероховатости поверхности покрытий со структурой разного типа...
Дубровский В.Г. Теоретические основы технологии полупроводниковых наноструктур
- формат pdf
- размер 10.76 МБ
- добавлен 03 апреля 2010 г.
СПб. , 2006 г. (350 стр. ). В книге подробно рассмотрены такие актуальные вопросы как технологии тонких пленок и наногетероструктур; основы теории формирования новой фазы на поверхности твердого тела; термодинамика и кинетика монослойной пленки; зарождение и рост островков на поверхности твердого тела; формирование сплошной пленки; одномерные и нульмерные квантовые наноструктуры (рост квантовых точек и нановискеров); кинетика роста тонких пленок;...
Кузнецов Г.Д., Кушхов А.Р., Билалов Б.А. Элионная технология в микро - и наноиндустрии
- формат djvu
- размер 4.54 МБ
- добавлен 22 июня 2011 г.
Курс лекций. - Москва, МИСиС, 2008. - 156 с. В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия - формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии. Учитывая, что в рассм...
Лозовский В.Н., Константинова Г.С., Лозовский С.В. Нанотехнология в электронике. Введение в специальность
- формат djvu
- размер 3.69 МБ
- добавлен 16 сентября 2011 г.
Учебное пособие. 2-еизд.,испр. — СПб.: Издательство «Лань», 2008. — 336 с. Данное пособие знакомит читателя с историческими этапами зарождения наноэлектроники, определяет роль микроэлектроники на современном этапе. Также приведены теоретические основы и особенности наноэлектроники, отражены особенности инструментального и технологического обеспечения ее развития. Рассматриваются достижения нанотехнологии в электронике, перспективы и тенденции ее...
Минько Н.И. Методы получения и свойства нанообъектов
- формат djvu
- размер 4.16 МБ
- добавлен 31 января 2012 г.
Учебное пособие. - М.: Флинта: Наука, 2009. - 168 с. В пособии рассмотрены основные методы получения нанообъектов, наночастиц, наноструктур: наносборка, ионная бомбардировка, ударные волны, вакуумное испарение, катодное распыление, низкотемпературная плазма, плазмохимический синтез, диспергирование, механохимический синтез, самораспространяющийся высокотемпературный синтез, взрывной синтез, электрический взрыв проводников, электроэрозионный мето...
Миттова И.Я., Томина Е.В., Лаврушина С.С. Наноматериалы: синтез нанокристаллических порошков и получение компактных нанокристаллических материалов
- формат pdf
- размер 551.23 КБ
- добавлен 03 апреля 2010 г.
Учебное пособие для вузов, Воронеж, 2007, 36 с. Содержание: Газофазный синтез (конденсация паров). Плазмохимический синтез. Осаждение из коллоидных растворов. Термическое разложение и восстановление. Механосинтез. Детонационный синтез и электровзрыв. Упорядочение нестехиометрических соединений. Синтез высокодисперсных оксидов в жидких металлах. Самораспространяющийся высокотемпературный cинтез. Получение компактных нанокристаллических материалов....
Шулаев В.М. и др. Сопоставление характеристик вакуумно-дуговых наноструктурных TiN покрытий, осаждаемых при подаче на подложку высоковольтных импульсов
Статья- формат pdf
- размер 380.58 КБ
- добавлен 07 августа 2011 г.
Статья. Опубликована в ФІП ФИП PSE, 2007, т. 5, № 1-2,с.94-97. Изучено два типа наноструктурных покрытий TiN: полученных по традиционной технологии и с приложением к подложке высоковольтных импульсов. Проведено сопоставление данных для обоих типов наноструктурных покрытий по цветовым характеристикам, рентгеноструктурным исследованиям, фрактографиям изломов и на предмет наличия частиц капельной фазы, а также по измерению твердости наноиндентирован...