Серия "Технология полупроводниковых приборов и изделий
микроэлектроники". В 10 кн.: Учебник для ПТУ. Кн
.2. - М.: Высшая школа, 1989. -96 с.: ил.
В книге описаны электрофизические свойства и строение материалов,
используемых при производстве полупроводниковых приборов и изделий
микроэлектроники. Рассмотрены полупроводниковые материалы,
материалы, применяемые при их механической и химической обработке,
фотолитографии, диффузии, защите и герметизации p-n переходов, а
также для изготовления конструктивных элементов корпусов.