Марахтанов М.К. Магнетронные системы ионного распыления (Основы теории и расчета)

Учеб.пособие по курсу "Конструирование и расчёт установок ионного распыления" / Под ред. С.Д. Гришина. - М., 1990. - 76 с., ил.
ISBN 5-7038-029I-1 Рассмотрены вопросы конструирования и расчёта магнетронных распылительных систем, их отдельных узлов и технологических плазменных установок на их основе.
Предназначено для студентов старших курсов технических ВУЗов, а также инженеров, занимающихся разработкой плазменных технологических установок. Рецензент С.А. Мубояджян