Пер. с англ. -М.: Мир, 1991. -143 с, ил.
В монографии рассматриваются конвективные процессы при выращивании из расплавов полупроводниковых кристаллов методами Бриджмена, зонной плавки, Чохральского. На основе экспериментальных данных и численного моделирования уравнений Навье-Стокса изучается структура полей течений и температуры и выясняются причины макро- и микронеоднородвостей в распределении примесей, обусловленных тепловой гравитационной конвекцией. Книга содержит большое число иллюстраций, являющихся наглядной интерпретацией результатов технологических экспериментов. Обсуждаются практические мероприятия, позволяющие устранить причины образования дефектов макро- и микронеоднородностей.
Для научных работников, инженеров, аспирантов и студентов старших курсов в области технологии материалов, механики жидкости и газа, а также микро- микроэлектроники.
В монографии рассматриваются конвективные процессы при выращивании из расплавов полупроводниковых кристаллов методами Бриджмена, зонной плавки, Чохральского. На основе экспериментальных данных и численного моделирования уравнений Навье-Стокса изучается структура полей течений и температуры и выясняются причины макро- и микронеоднородвостей в распределении примесей, обусловленных тепловой гравитационной конвекцией. Книга содержит большое число иллюстраций, являющихся наглядной интерпретацией результатов технологических экспериментов. Обсуждаются практические мероприятия, позволяющие устранить причины образования дефектов макро- и микронеоднородностей.
Для научных работников, инженеров, аспирантов и студентов старших курсов в области технологии материалов, механики жидкости и газа, а также микро- микроэлектроники.