Полуэктов Н.П. Массо - и теплоперенос при осаждении металлических пленок в установке СВЧ-ЭЦР разряда

Автореф. дис. . докт. техн. наук: 01.04.14 / Н.П. Полуэктов; Моск. гос. ун-т леса. – М., 2004. – 41 с.
Оглавление
Введение
Анализ современного состояния плазмохимических установок для осаждения и травления тонких пленок
Магнетронные распылительные системы
Установки с высокочастотным емкостным разрядом
Установки с индуктивным разрядом
Геликоны
Установки на основе СВЧ-ЭЦР разряда
Краткая теория ЭЦР - разряда и его применение
Баланс мощностей в СВЧ- разрядах
Распространение СВЧ- волн в магнитоактивной плазме
Конфигурации магнитного поля в установках с СВЧ -ЭЦР – плазмой
Получение тонких пленок в СВЧ-ЭЦР установках
Установка СВЧ - ЭЦР разряда
Назначение, общая характеристика и особенности установки
Разрядная камера, система вакуумирования и подачи газа
СВЧ- система
Магнитная система
Соленоидальные электромагниты
Постоянные магниты
Автоматизированная система диагностики
Зондовые измерения
Оптические измерения
Влияние геометрии магнитного поля на параметры СВЧ-ЭЦР плазмы
Разряд в соленоидальном поле
Разряд в гибридном магнитном поле
Разряд в касповом магнитном поле
Исследование процесса ионизации распыленных атомов металла
Измерение тепловых потоков на подложку
Расчет толщины пленок, получаемых методом распыления цилиндрической мишени. Сравнение с экспериментом
Эксперименты по металлизации микроструктур с использованием ионизации атомов металла
Заключение
Литература