Вакуумно-конденсационные методы нанесения покрытий
Андреев А.А., Саблев Л.П., Григорьев С.Н. Вакуумно-дуговые покрытия
- формат pdf
- размер 13.1 МБ
- добавлен 01 января 2017 г.
Харьков: ННЦ ХФТИ, 2010. – 318 с. Рассмотрены физические процессы, происходящие на электродах и в межэлектродном пространстве вакуумно-дугового разряда. Описаны основные подходы к конструированию вакуумно-дуговых испарителей и некоторые их схемы. Приведены характеристики износостойких вакуумно-дуговых покрытий, в том числе сверхтвердых наноструктурных, и результаты их применения на инструментах. Описаны процессы комбинированной обработки изделий...
Андреев А.А., Саблев Л.П., Шулаев В.М., Григорьев С.Н. Вакуумно-дуговые устройства и покрытия
- формат pdf
- размер 13,69 МБ
- добавлен 04 августа 2014 г.
Харьков: ННЦ ХФТИ, 2005. — 236 с. 300 dpi, ч/б, постранично, распознано Рассмотрены физические процессы, происходящие на электродах и в межэлектродном пространстве вакуумно-дугового разряда, в том числе новая физическая модель катодного пятна, его поведение в магнитных полях и взаимодействие с поверхностью катода. Описаны основные принципы конструирования вакуумно-дуговых испарителей и их конструкции. Приведены свойства и результаты применения на...
Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок
- формат djvu
- размер 1.44 МБ
- добавлен 01 марта 2010 г.
М: Техносфера, 2007. - 176 с. В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного м...
Вакуумное напыление
Курсовая работа- формат doc
- размер 207,06 КБ
- добавлен 06 мая 2012 г.
Пояснительная записка к курсовой работе по дисциплине Основы физики твёрдого тела и микроэлектроники. Марийский государственный технический университет, Йошкар-Ола, 2003, 51с. Разработал: студент группы ЭВС-31 Колесников Консультировал: доцент Игумнов В.Н. Содержание Введение Термическое вакуумное напыление Резистивное напыление Индукционное напыление Электронно-лучевое напыление Лазерное напыление Электродуговое напыление Распыление ионной бомб...
Васильевский В.В., Куломзин Е.К., Лапшинов Б.А. (сост.) Нанесение тонких пленок вакуумно-дуговым методом
Практикум- формат pdf
- размер 416,24 КБ
- добавлен 12 марта 2012 г.
Методические указания по проведению лабораторной работы. — М.: Московский Государственный институт электроники и математики (ТУ), 2006. — 18 с. Целью работы является знакомство с вакуумно-дуговым методом формирования тонких пленок, выполнение экспериментов по нанесению пленок на различные подложки указанным методом и измерение параметров полученных пленочных покрытий. Для студентов III курса факультета электроники. Дисциплины - Материаловедение т...
Введенский В.Д. Разработка научных основ технологического процесса изготовления оптических покрытий
Дисертация- формат pdf
- размер 17,81 МБ
- добавлен 26 декабря 2013 г.
Автореферат диссертации. — Л.: ЛИТМО, 1984. — 24 с. Разработан теоретико-экспериментальный подход к технологическому процессу нанесения оптических покрытий в вакууме, позволивший не только создать многофакторное описание поведения подобной сложной физико-химической системы, но и осуществить прогнозирование развития её подсистем.
Введенский В.Д. Сорбционные процессы при нанесении оптических покрытий
- формат pdf
- размер 284.63 КБ
- добавлен 08 апреля 2010 г.
Процесс конденсации паров испаряемого материала на поверхности детали и последующее структурообразование формирующегося слоя происходят в условиях постоянного внедрения молекул газа, имеющихся в объеме камеры. Влияние подобных примесей на свойства слоев несомненно, хотя и неоднозначно, как неоднозначен и механизм появления во время процесса испарения такого активного восстановителя, как Н2, имеющего в отличие от СО2 стационарное значение давления...
Введенский В.Д., Рязанкин В.П. Вакуумная технология оптического приборостроения
- формат pdf
- размер 3.19 МБ
- добавлен 31 мая 2009 г.
В пособии рассмотрены основные типы тонкослойных оптических покрытий, наносимых в вакууме. Приведены ряд особенносей испарения оксидов металлов при их электронно-лучевом испарении в вакууме. Методами пассивного и активного моделирования процессов нанесения, построены математические модели слоёв с различными выходными функциями. Приводится пример расчёта реального технологического процесса нанесения слоёв в вакууме.
Введенский В.Д., Фурман Ш.А. Автоматизированное нанесение тонкоплёночных интерференционных покрытий в вакууме
- формат pdf
- размер 23.54 МБ
- добавлен 21 июня 2009 г.
В брошюре рассматривается состояние работ в области автоматизированного нанесения тонкослойных интерференционных покрытий в вакууме на установке с управлением от микрокомпьютера. Приводится алгоритм работы установки и прмеры реализации некоторых конструкций покрытий. Даётся математическая модель процесса нанесения слоя оксида титана, полученная на установке BAK-760 (фирма "Balzers") методом планирования эксперимента. Л.: ЛДНТП, 1983, 28 с.
Волков А.Н. и др. Вакуумная техника. Нанесение покрытий
- формат pdf
- размер 1.84 МБ
- добавлен 25 января 2011 г.
Волков А. Н., Дьяченко В. А., Клюкин В. Ю. Вакуумная техника. Методы, технологические процессы и оборудование для нанесения покрытий: Учеб. пособие. СПб.: Изд-во СПбГТУ, 1996. - 44 с. Для студентов конструкторских специальностей 5-го курса механико-машиностроительного факультета, изучающих курсы "Вакуумная техника", "Оборудование для производства электровакуумных приборов", "Оборудование для производства полупроводниковых приборов". Пособие может...
Данилин Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок
- формат djvu
- размер 4.63 МБ
- добавлен 01 марта 2010 г.
М.: Энергия , 1967. - 312 стр. с илл. В книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются современные средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемые при получении т...
Данилин Б.С. Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники
- формат pdf
- размер 3.18 МБ
- добавлен 13 января 2011 г.
М.: Машиностроение, 1987. – 72 с.: ил. Под ред. В. К. Сырчина. В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставл...
Данилин Б.С. Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники
- формат djvu
- размер 1005.12 КБ
- добавлен 01 марта 2010 г.
М.: Машиностроение, 1987. 72 с. В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставлены основные виды насосов.
Дипломный проект - Усовершенствование блока управления и конструкции реактора установки вакуумного напыления
degree- формат rtf
- размер 7.76 МБ
- добавлен 26 марта 2011 г.
Херсонский национальный технический университет Специальность-090.212 Електронне машинобудування 69 стр. Титульный лист на украинском языке. Данный проект состоит из разделов: Технологии вакуумного напыления и оборудование для нанесения тонких слоев и плёнок. Рассмотрены: различные методы напыления и физические основы нанесения тонких пленок, основные требования и системы оборудования для нанесения тонких плёнок, элементы вакуумных систем и устр...
Дорофеев С.Г., Васильев Р.Б. Вакуумное напыление тонкопленочных структур
Практикум- формат pdf
- размер 627,22 КБ
- добавлен 10 января 2013 г.
Практикум. — М.: МГУ, 2011. — 18 с. Введение Теоретическая часть Методы вакуумного нанесения пленок. Расчет формы маски для заданного профиля толщины пленки при осаждении на вращающуюся подложку. Тест. Экспериментальная часть Получение керамических таблеток Al2O3. Расчет формы маски для напыления пленок исходя из профиля. Напыление металлических пленок методом джоулевого нагрева. Напыление пленок корунда методом электронно-лучевого испарения. Изм...
Жданов А.В. (сост.) Технологические процессы нанесения покрытий методами вакуумных технологий
Практикум- формат pdf
- размер 2,11 МБ
- добавлен 08 апреля 2016 г.
Методические рекомендации по выполнению лабораторных работ. — Владимир: ВлГУ, 2013. — 115 с. Для студентов ВлГУ, обучающихся по направлению 151900 «Конструкторско-технологическое обеспечение машиностроительных производств». Содержание: Введение. Лабораторные работы Изучение устройства установки UNICOAT 600 SL+. Изучение устройства управляющей программы UNICOAT 600. Изучение оборудования и приобретение навыков по испытаниям материалов скретч-тесто...
Жданов А.В. Методические указания к лабораторным работам по дисциплине Методы нанесения вакуумных РVD-покрытнй
Практикум- формат pdf
- размер 1,64 МБ
- добавлен 27 августа 2015 г.
Владимир: Владим. гос. ун-т, 2014. — 145с. Составлены в соответствии с требованиями Государственного общеобразовательного стандарта высшего профессионального образования (ФГОС-3). Приведено описание лабораторных работ по дисциплине Методы нанесения вакуумных РVD-покрытнй. Включают цель, теоретические положения, методику выполнения работ. Предназначены для бакалавров направления 152200.62 Содержание Введение. Лабораторные работы Методы и технологи...
Карпов Д.Ф. и др. Снижение содержания макрофракций в вакуумно-дуговом осаждении покрытий
- формат pdf
- размер 6,74 МБ
- добавлен 20 февраля 2015 г.
Препринт НИИЭФА П-0998, СПб.: ФГУП НИИЭФА им. Д.В. Ефремова, 2009, 55 с. Приведены краткий обзор современного состояния проблемы, методика расчёта и описание конструкции модульного 30/60/90 электромагнитного фильтра для вакуумно-дуговых источников плазмы, а также экспериментальные результаты исследования параметров системы источник – фильтр. Включены также некоторые результаты исследования работы катодно-дуговых источников с магнитной стабилизаци...
Костржицкий А.И. и др. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме
Справочник- формат pdf
- размер 5.09 МБ
- добавлен 22 мая 2011 г.
А. И. Костржицкий, В. Ф. Карпов, М. П. Кабанченко и др. - М.: Машиностроение, 1991. — 176 с: ил. Изложены основы технологии получения покрытий испарением и конденсацией в вакууме, описаны конструкции испарительных систем, вакуумного оборудования для получения покрытий Рассмотрены способы подготовки поверхности изделий перед металлизацией, даны рекомендации по химической, электрофизической н термической подготовке поверхностей подложек и внутрикам...
Костржицкий А.И., Лебединский О.В. Многокомпонентные вакуумные покрытия
- формат pdf
- размер 5.37 МБ
- добавлен 23 января 2012 г.
М.: Машиностроение, 1987, 208 с.: ил. Изложены теоретические основы способов получения покрытий из сплавов в вакууме, приведены основы технологии нанесения различных покрытий из сплавов на металлы и неметаллы. Обобщены данные исследований влияния условий осаждения покрытий на их пористость и защитные свойства, а также электрохимического поведения покрытий в агрессивных средах. Рассмотрены методы получения вакуумных многокомпонентных пленок и покр...
Курсовая работа - Особенности образования структур при вакуумном напылении
Курсовая работа- формат pdf
- размер 1.43 МБ
- добавлен 26 марта 2011 г.
Московский государственный институт радиоэлектроники, электроники и автоматики Дисциплина - Вакуумные плазменные технологические устройства М. : 2002г. , 30 стр.
Лапшинов Б.А. Нанесение тонких пленок методом вакуумного термического испарения
Практикум- формат pdf
- размер 924,46 КБ
- добавлен 07 апреля 2014 г.
Методические указания к лабораторной работе по дисциплинам: "Технология материалов и изделий электронной техники" и "Технология создания технических систем". — М.: Московский государственный институт электроники и математики, 2006. — 30 с. — ISBN 5-94506-133-6. Содержанием работы является закрепление теоретических знаний, получаемых на лекционных занятиях, знакомство с конструкцией и принципами работы на технологической установке нанесения тонких...
Методы лазерного нанесения покрытий
Курсовая работа- формат doc
- размер 680,20 КБ
- добавлен 29 декабря 2016 г.
Курсовая работа. — МАТИ, г. Москва, 2015 г., 22 стр. Дисциплина — «Технология и оборудование вакуумных методов нанесения покрытий». Содержание Введение. Общая характеристика защитных и упрочняющих покрытий Основные характеристики покрытий. Методы физического осаждения покрытий. Принципиальные схемы установок. Лазерное нанесение покрытий Лазерное напыление. Лазерная наплавка. Заключение Список литературы
Методы нанесения вакуумных PVD-покрытий
Презентация- формат pdf
- размер 7,58 МБ
- добавлен 25 января 2017 г.
Курс лекций в форме презентации. Составитель Жданов А.В., ВлГУ, Владимир, 2014, 161 слайд. Основные разделы: Классификация покрытий. Технологии формирования слоев нанометровой толщины. Защитные покрытия для модернизации компрессорных лопаток авиационных двигателей. Жаростойкие покрытия. Теплозащитные покрытия. Разработка и исследование вакуумных PVD-покрытий. Установки по нанесению PVD-покрытий. Разработка методики и исследование методики наноинд...
Минайчев В.Е. Вакуумное оборудование для нанесения пленок
- формат djvu
- размер 898.2 КБ
- добавлен 01 марта 2010 г.
М.: Машиностроение, 1978, 60 с. Кратко рассмотрены вакуумные технологические методы получения тонких пленок, которые находят все большее применение в различных областях науки и техники, а также некоторые прикладные вопросы вакуумной техники. Приведены классификация и технические данные. Описаны наиболее типичные испарительно-распылительные системы и установки для нанесения тонких пленок. Даны практические рекомендации по использованию оборудовани...
Минайчев В.Е. Нанесение пленок в вакууме
- формат djvu
- размер 3.07 МБ
- добавлен 01 сентября 2009 г.
Высшая школа. 1989. 110 с. Рассмотрены вопросы: нанесение пленок методами термического испарения, ионно-плазменного распыления; контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения; оборудование для нанесения пленок; электровакуумная гигиена и техника безопасности.
Пастух И.М. Теория и практика безводородного азотирования в тлеющем разряде
- формат pdf
- размер 4,09 МБ
- добавлен 12 января 2017 г.
Харьков: ННЦ ХФТИ, 2006. — 361 с. Систематизированы процессы, происходящие при вакуумно-диффузионной обработке металлических поверхностей в тлеющем разряде, на основе анализа известных моделей их и общих положений физики электрического разряда в газе предложена энергетическая модель формирования модифицированного слоя. Изложены некоторые методики исследований, в том числе – обработки данных, алгоритмы расчета параметров процесса. Проведен анализ...
Применение анализа размерностей для описания явлений в процессе вакуумного термического напыления покрытий
Курсовая работа- формат doc
- размер 46,57 КБ
- добавлен 14 октября 2015 г.
ПНИПУ. Пермь, 2014. 9 с. Введение Теоретический обзор Процессы испарения и конденсации Анализ подобия и размерности Исследовательская часть Постановка задачи исследования Методика определения плотности потока частиц Выводы Список литературы
Реферат - Методы получения тонких пленок
Реферат- формат doc
- размер 25.83 КБ
- добавлен 25 апреля 2011 г.
Рассмотрены основные методы получения тонких пленок: физические методы осаждения: термическое испарение за счет резистивного нагрева; электронно-лучевое испарение; лазерное испарение; ионно-лучевое распыление; катодное распыление; магнетронное распыление и химические методы осаждения: осаждение из газовой фазы; метод распылительного пиролиза; жидкофазная эпитаксия; электролиз; золь – гель метод. 18с.
Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме
Словарь- формат djvu
- размер 12.37 МБ
- добавлен 13 февраля 2010 г.
/А. И. Костржицкий, В. Ф. Карпов, М. П. Кабанченко и др. - М.: Машиностроение, 1991. - 176 с.: ил. Изложены основы получения покрытий испарением и конденсацией в вакууме, описаны конструкции испарительных систем, вакуумного оборудования для получения покрытий. Рассмотрены способы подготовки поверхности изделий перед металлизацией, даны рекомендации по химической, электрофизической и термической подготовке поверхностей подложек и внутрикамерных у...
Сыркин В.Г. CVD-метод. Химическая парофазная металлизация
- формат pdf
- размер 41.56 МБ
- добавлен 07 декабря 2010 г.
M.: Наука, 2000. — 496 с; ил. Книга посвящена изложению теории и практики CVD-метода (Chemical Vapor Deposition) -осаждению металлических пленок, покрытий, вискеров и высокодисперсных частиц из паровой (газовой) фазы летучих металлсодержащих соединений - карбонилов металлов, бис-?-циклопентадиенильных соединений (металлоцены), алкилов металлов, ?-дикетонатов металлов и галогенидов металлов. Описаны принципы выбора исходных веществ для CVD-металли...
Сырчин В.К., Зарянкин Н.М., Виноградов А.И. Технологические процессы и оборудование производства электронных средств. Часть 1. Вакуумно-плазменные процессы и оборудование
- формат pdf
- размер 33,47 МБ
- добавлен 21 марта 2016 г.
Учебное пособие. — М.: МИЭТ, 2011. — 168 с. — ISBN 978-5-7256-0630-0. Изложены вопросы физики газовых разрядов, физико-химических процессов в газоразрядной плазме и механизмов взаимодействия ионов и химически активных частиц, генерируемых в плазме, с поверхностью обрабатываемого материала. Представленный материал охватывает физико-химические процессы, на основе которых реализуются технологические процессы в базовых видах технологического оборудов...
Тополянский П.А., Тополянский А.П. Тeхнологии и оборудование для нанесения тонкопленочных износостойких покрытий
Статья- формат pdf
- размер 583,53 КБ
- добавлен 29 августа 2016 г.
Сельскохозяйственная техника: обслуживание и ремонт. №12. - 2012, С. 28-38 Рассмотрены современные технологии упрочнения металлорежущего инструмента – CVD и PVD-процессы, а также новая технология финишного плазменного упрочнения (ФПУ) путем безвакуумного нанесения износостойкого нанопокрытия на основе оксикарбонитрида кремния.
Цыганов И.А. и др. Получение гемосовместимых покрытий на основе титана с помощью метода плазменно-иммерсионной ионной имплантации и осаждения металлов
- формат pdf
- размер 207.71 КБ
- добавлен 02 мая 2011 г.
Статья. Опубликована в Физика твердого тела. Вестник Нижегородского университета им. Н. И. Лобачевского, 2007, № 1, с. 52–56 Авторы: И. А. Цыганов, А. И. Позднякова, Э. Рихтер, М. Ф. Майтц Плазменно-иммерсионная ионная имплантация и осаждение металлов (MePIIID) является эффективным методом улучшения поверхностных свойств различных материалов. Были исследованы структура, фазовый состав и поверхностные свойства (смачиваемость, поверхностная энергия...
Шиліна О.П., Савуляк В.І., Осадчук А.Ю. Вакуумно-конденсаційне напилювання покрить
- формат pdf
- размер 4,73 МБ
- добавлен 23 декабря 2016 г.
Навчальний посібник. Вінниця: ВНТУ, 2007. - 96 с. В навчальному посібнику розглянуті фундаментальні основи технологічних процесів вакуумно-конденсаційного напилювання покрить. Посібник розроблений у відповідності з планом кафедри та програмам дисциплін Розпилюючі пристрої та устаткування та Технологія та обладнання для напилення
Choy K.L. Chemical vapour deposition of coatings
- формат pdf
- размер 1.74 МБ
- добавлен 24 января 2011 г.
Progress in Materials Science 48 (2003) 57–170 Chemical Vapour Deposition (CVD) of films and coatings involve the chemical reactions of gaseous reactants on or near the vicinity of a heated substrate surface. This atomistic deposition method can provide highly pure materials with structural control at atomic or nanometer scale level. Moreover, it can produce single layer, multilayer, composite, nanostructured, and functionally graded coating mate...