Технология полупроводникового кремния
Катков О.М. (ред.) Технология выплавки технического кремния
- формат pdf
- размер 32.65 МБ
- добавлен 26 марта 2014 г.
С.В. Архипов, А.А. Тупицын, О.М. Катков, Е.А. Руш, И.М. Седых. — Под. ред. Каткова О.М. Иркутск: Кремний, 1999. — 244 с.: ил. Рассмотрены теоретические основы процесса восстановления и технология выплавки кремния в дуговых электропечах. Изложены результаты исследования термодинамики, кинетики реагирования и механизмов процесса плавки. Освещены вопросы производства: шихтоподготовка, плавка, рафинирование, газоочистка. Затронуты вопросы рационально...
Рейви К. Дефекты и примеси в полупроводниковом кремнии
- формат djvu
- размер 14,02 МБ
- добавлен 24 августа 2012 г.
Пер. с англ. — М.:. Мир, 1984. — 475 с.: ил. Фундаментальная монография известного американского автора посвящена технологии получения полупроводникового кремния высокой чистоты, используемого для производства интегральных микросхем и полупроводниковых приборов различного назначения. Исследовано влияние дефектов и примесей на электрические свойства кристаллов кремния. Для специалистов в области материаловедения и производства полупроводниковых м...
Таланин И.Е. Микродефекты в бездислокационных монокристаллах кремния
- формат djvu
- размер 1,88 МБ
- добавлен 29 января 2017 г.
Запорожье: ЗГИА, 1996. — 80 с. — ISBN 966-7101-00-2. Монография посвящена вопросам дефектообразования в высокочистых бездислокационных монокристаллах кремния. Дан анализ современного состояния проблемы микродефектов в кремнии, полученном методом бестигельной зонной плавки. Обсуждены основные экспериментальные результаты электронно-микроскопических исследований. Рассмотрена модель образования, роста и трансформации микродефектов в без-дислокационн...
Фалькевич Э.С. и др. Технология полупроводникового кремния
- формат djvu
- размер 4.95 МБ
- добавлен 02 декабря 2009 г.
М.: Металлургия, 1992, - 408 с. Изложены физико-химические основы технологии полупроводникового кремния, рассмотрены свойства технологических материалов, влияние структурных несовершенств и термической обработки на электрофизические и физико-химические свойства кремния. Описаны процессы получения кремния и оборудование, в том числе вакуумное и криогенное. Рассмотрены способы получения кремния с заранее заданными свойствами, приведены области его...
Червоний І.Ф. (ред.) Напівпровідниковий кремній: теорія і технологія виробництва. Видання друге, допрацьоване, перероблене
- формат djvu
- размер 5,82 МБ
- добавлен 19 ноября 2014 г.
Запоріжжя: ЗДІА, 2009. — 488 с. Викладено фізико-хімічні основи технології напівпровідникового кремнію, розглянуті властивості технологічних матеріалів, вплив структурної недосконалості і термічної обробки на електрофізичні та фізико-хімічні властивості кремнію. Описані процеси отримання кремнію, розглянуте устаткування для цього, зокрема вакуумне і криогенне. Наведені способи отримання кремнію із заздалегідь заданими властивостями, зокрема таким...
Червоный И.Ф. Научное обоснование и разработка технологии монокристаллов кремния методом специальной электрометаллургии (бестигельной зонной плавкой)
Дисертация- формат djvu
- размер 3,20 МБ
- добавлен 16 декабря 2014 г.
Диссертация д.т.н.: 05.16.03 - Металлургия цветных металлов. — Запорожье: ЗТМК, 1999. – 293 с. Рассматривается выращивание методом бестигельной зонной плавки высококачественных бездислокационных монокристаллов кремния большого диаметра. Развиваются новые направления по созданию оптимальных тепловых условий и режимов выращивания. Анализируется влияние электромагнитного поля индуктора на форму монокристаллов и на воспроиводимость выращивания бездис...