Похожие разделы

Голишников А.А., Путря М.Г. Плазменные технологии в наноэлектронике

  • формат pdf
  • размер 13,55 МБ
  • добавлен 18 марта 2014 г.
М.: МИЭТ, 2011. — 172 с. — ISBN 978-5-7256-0656-0 Рассмотрены применение плазменных процессов в производстве изделий микро- и наноэлектроники, технологические проблемы их использования при изготовлении ИС, тенденции развития плазменной технологии. Представлены современные системы высокоплотной плазмы. Приведены основные понятия процесса плазменного травления и его технологические параметры. Описаны процессы плазменного травления различных функцио...

Громов Д.Г. Металлизация в системах с наноразмерными элементами

  • формат pdf
  • размер 7,11 МБ
  • добавлен 06 ноября 2013 г.
Учебное пособие. — М.: МИЭТ, 2011. — 204 с. Рассмотрены с физико-химических позиций развитие систем металлизации кремниевых интегральных схем, выбор материалов функциональных слоев металлизации и процессы формирования элементов металлизации. Приведены закономерности взаимодействия в различных силицидообразующих системах металл - кремний и особенности формирования силицидных контактных слоев; принципы выбора материалов диффузионно-барьерных слоев;...

Данилина Т.И., Кагадей В.А., Анищенко Е.В. Технология кремниевой наноэлектроники

  • формат pdf
  • размер 3.69 МБ
  • добавлен 03 февраля 2012 г.
Учебное пособие. Томск, В-Спектр, 2011, 263 с. В учебное пособие включено описание новых технологических процессов, которые составляют основу современного производства сверхбольших интегральных схем (СБИС) и других устройств кремниевой наноэлектроники. К таким процессам относятся субмикронная литография, ионное легирование, быстрый термический отжиг, ионное и плазмохимическое травление наноструктур, атомно-слоевое и ионно-плазменное осаждение мет...

Данилина Т.И., Чистоедова И.А. Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники

  • формат tif
  • размер 2,33 МБ
  • добавлен 03 мая 2016 г.
Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Эль Контент, 2011. — 96 c. Освещаются следующие разделы в области создания и исследования объектов наноэлектроники: нанолитография, оптическая литография, УФ-, КУФ-, ЭУФ- диапазоны, литография сканирующими электронными и ионными пучками, оборудование для получения остросфокусированных пучков электронов и ионов, наноимпринтинговая литография, технология наноразмерных...

Данилов Ю.А., Демидов Е.С., Ежевский А.А. Основы спинтроники

  • формат pdf
  • размер 1,82 МБ
  • добавлен 08 марта 2012 г.
Учебно-методический материал по программе повышения квалификации "Физико-химические основы нанотехнологий". Нижний Новгород, 2007, 160 с. Изложены основы новой быстроразвивающейся области физики и технологии – спинтроники. Вводятся понятия спинов электрона, многоэлектронного атома и фотона. Описан магнетизм как традиционных (переходных металлов группы железа), так и новых материалов: сильнолегированных марганцем элементарных полупроводников и сое...

Денисенко В.В. Компактные модели МОП-транзисторов для SPICE в микро- и наноэлектронике

  • формат djvu
  • размер 3.35 МБ
  • добавлен 18 января 2011 г.
Москва ФИЗМАТЛИТ 2010г, 408стр. Монография содержит систематическое изложение принципов построения компактных моделей МОП-транзисторов для схемотехнического моделирования электронных цепей, в том числе СБИС. Рассмотрены проблемы моделирования, физические процессы в микро- и нанометровых МОП транзисторах, методы формирования уравнений компактных моделей, особенности моделей BSIM, EKV, PSP, HiSIM и др., табличные модели, полунатурные модели. Для р...

Денисов А.А., Кальнов В.А., Шахнов В.А. Проектирование наносенсоров

  • формат pdf
  • размер 11,24 МБ
  • добавлен 1 апреля 2015 г.
Учебное пособие. - М.: Издательство МГТУ имени Н. Э. Баумана, 2011 - 128с.: ил. (Библиотека "Наноинженерия": в 17 кн. Кн. 6). ISBN 978-5-7038-3497-8 (кн. 6) ISBN 978-5-7038-3509-8 Методические материалы по дисциплине "Проектирование наносенсоров" содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций и лабораторных работ, перечень слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско пре...

Дорохин М.В., Данилов Ю.А. Измерение поляризационных характеристик излучения наногетероструктур

  • формат pdf
  • размер 1.36 МБ
  • добавлен 05 марта 2011 г.
Нижний Новгород, ННГУ, 2011. – 81 c. Описаны основные свойства поляризованных электромагнитных волн, методы генерации и источники циркулярно-поляризованного излучения. Рассмотрены основные виды спиновых светодиодов, испускающих циркулярно-поляризованное излучение, геометрия и Конструкция диодов, материалы, наиболее часто используемые для изготовления. Описаны основные подходы и методики измерений циркулярной поляризации электролюминесценции на пр...

Драгунов В.П., Неизвестный И.Г., Гридчин В.А. Основы наноэлектроники

  • формат djvu
  • размер 6.07 МБ
  • добавлен 10 июля 2011 г.
Учебное пособие. - М.: Логос. 2006. - 496с. Излагаются основные вопросы физики систем пониженной размерности, рассматриваются особенности энергетического спектра и переноса частиц в многослойных структурах с резкими потенциальными границами. В отличие от первого издания (2004 г., НТГУ) дополнительно освещаются вопросы энергетического спектра низкоразмерных систем с цилиндрической и сферической симметрией, вопросы влияния электрического поля на э...

Драгунов В.П., Неизвестный И.Г., Гридчин В.А. Основы наноэлектроники

  • формат pdf
  • размер 101,11 МБ
  • добавлен 22 апреля 2013 г.
Учебное пособие. — 2-е изд. — М.: Логос, 2006. — 496 с. Излагаются основные вопросы физики систем пониженной размерности, рассматриваются особенности энергетического спектра и переноса частиц в многослойных структурах с резкими потенциальными границами. В отличие от первого издания (2004 г., НТГУ) дополнительно освещаются вопросы энергетического спектра низкоразмерных систем с цилиндрической и сферической симметрией, вопросы влияния электрическог...

Драгунов В.П., Неизвестный И.Г., Гридчин В.А. Основы Наноэлектроники

  • формат djvu
  • размер 12.95 МБ
  • добавлен 09 июля 2010 г.
Новосибирск, НГТУ, 2000 г. , 340 стр. В монографии излагаются основные вопросы физики систем пониженной размерности, рассматриваются особенности энергетического спектра и переноса частиц в многослойных структурах с резкими потенциальными границами (сверхрешётки, гетеропереходы и т. д. ), дополнительно освещаются вопросы энергетического спектра низкоразмерных систем с цилиндрической и сферической симметрией, вопросы влияния электрического поля на...

Захарова И.Б., Макарова Т.Л. Молекулярная электроника и углеродные наноструктуры

  • формат pdf
  • размер 2,49 МБ
  • добавлен 20 марта 2013 г.
Учебное пособие. — Санкт-Петербург, СПбГПУ, 2008. — 122 с. В пособии обобщены результаты ведущихся в мире интенсивных исследований в области молекулярной электроники, рассмотрены основные физические свойства и электронное строение молекулярных материалов и углеродных наноструктур, основные принципы создания приборов молекулярной электроники. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям и специ...

Зацепин Д.А., Чолах С.О. Физические основы технологий микро- и наноэлектроники

  • формат pdf
  • размер 1.78 МБ
  • добавлен 13 ноября 2016 г.
Екатеринбург: ГОУ ВПО УГТУ-УПИ, 2006. — 236 с. В книге изложены основные направления развития микро- и наноэлектроники: рассмотрены физические основы функционирования интегральных микросхем (ИС) и их структурных элементов, приведены конструктивно-технологические варианты исполнения ИС, проанализированы физические особенности отечественных и зарубежных промышленных технологических процессов формирования топологии полупроводниковых радиоэлектронных...

Зебрев Г.И. Физические основы кремниевой наноэлектроники

  • формат pdf
  • размер 5,40 МБ
  • добавлен 1 апреля 2015 г.
Учебное пособие. - М.: МИФИ, 2008. - 288 с. Распознано Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее100 нм. Предназначена для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в уч...

Зебрев Г.И. Физические основы кремниевой наноэлектроники: учебное пособие для вузов

  • формат djvu
  • размер 3,24 МБ
  • добавлен 1 апреля 2015 г.
Учебное пособие. — М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. — 240 с. — ISBN 978-5-9963-0181-2 Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может б...

Калинин С.В. Физические основы наноэлектроники

  • формат doc
  • размер 573,48 КБ
  • добавлен 24 декабря 2016 г.
Новосибирск : СибГУТИ, 2007. — 53 с. Наноэлектроника как научное направление существует относительно недавно (с конца 20 века) и поэтому его точного исчерпывающего определения пока не существует. Наиболее часто под наноэлектроникой понимают совокупность электронных приборов, устройств и систем, принцип работы которых основан на использовании квантово-размерных эффектов. Некоторые из таких эффектов будут подробно рассмотрены в данных методических...

Киреев В.Ю., Столяров А.А. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

  • формат pdf
  • размер 4.93 МБ
  • добавлен 26 сентября 2010 г.
М., Техносфера, 2006 г. , 200 стр. В монографии проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ, CVD), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микро- и наноструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параме...

Ковалев А.Н. Гетероструктурная наноэлектроника

  • формат pdf
  • размер 5,27 МБ
  • добавлен 28 ноября 2015 г.
Учебное пособие. — М.: Изд. Дом МИСиС, 2009. — 155 с. Пособие посвящено анализу нового направления электроники – гетероструктурной наноэлектронике. Это часть более масштабного направления, называемого нанотехнологией и охватывающего разработку полупроводниковых приборов и устройств субмикронных размеров. Даны примеры реализации полевых и биполярных транзисторов на основе гетеросистем из материалов Ge/Si и AIIIBV с субмикронными размерами активных...

Кругляк Ю.А. Наноэлектроника снизу - вверх

  • формат pdf
  • размер 18,66 МБ
  • добавлен 20 августа 2016 г.
Монография. Одесса, 2015. — 535 с. — ISBN 978-617-7337-15-6 Книга посвящена современной наноэлектронике в концепции «снизу – вверх», основы которой были заложены еще Рольфом Ландауэром, а ныне активно развиваемой Суприе Даттой, Марком Лундстромом и другими исследователями. Подробно рассмотрена обобщенная модель транспорта электронов и переноса тепла в микро- и наноэлектронике, одинаково пригодная для 0D, 1D, 2D и 3D резисторов произвольного масшт...

Кругляк Ю.А. Наноэлектроника снизу - вверх

  • формат pdf
  • размер 11,82 МБ
  • добавлен 1 апреля 2015 г.
Издание 2-ое, дополненное. — Киев: Издательство Стрельбицкого, 2016. — 544 с. — ISBN 978-617-7337-15-6. Книга посвящена современной наноэлектронике в концепции «снизу – вверх», основы которой были заложены еще Рольфом Ландауэром, а ныне активно развиваемой Суприе Даттой, Марком Лундстромом и другими исследователями. Подробно рассмотрена обобщенная модель транспорта электронов и переноса тепла в микро- и наноэлектронике, одинаково пригодная для 0D...