Шелохвостов В.П. Микро - и наноэлектроника

Лабораторный практикум. — Тамбов: ТГТУ, 2013. — 60 с. Микроанализ структур интегральных устройств
Синтез наноразмерных углеродных трубок для наноэлектроники
Молекулярно-лучевая эпитаксия: методики, оборудование, технология
Электронная микроскопия гетероструктур
Микролитография
Анализ топологии БИС методом оптической микроскопии
Диффузия в технологии микросхем