Смирнова К.И. Процессы микро - и нанотехнологии

Учебно-методическое пособие. – Томск, ТУСУР, 2007. – 20 с.
Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника».
Введение.
Тематика курсовых проектов.
Общие требования.
Требования к оформлению ТД.