Запорожье: ЗГИА, 1996. — 80 с. — ISBN 966-7101-00-2.
Монография посвящена вопросам дефектообразования в высокочистых
бездислокационных монокристаллах кремния. Дан анализ современного
состояния проблемы микродефектов в кремнии, полученном методом
бестигельной зонной плавки. Обсуждены основные экспериментальные
результаты электронно-микроскопических исследований. Рассмотрена
модель образования, роста и трансформации микродефектов в
без-дислокационных монокристаллах кремния. Для
инженерно-технических работников, исследователей, аспирантов и
студентов.
Образование микродефектов в бездислокационных
монокристаллах кремния
Микродефекты в кремнии, полученном методом бестигельной зонной плавки.
Микродефекты в кремнии, полученном методом Чохральского.
Собственные точечные дефекты в кремнии.
Модели образования и роста микродефектов.
Методы выявления и исследования микродефектов
Приготовление образцов для металлографических и электронно-микроскопических исследований.
Методы электронно-микроскопического анализа.
Исследование физической природы микродефектов в бездислокационных монокристаллах кремния, выращенных методом бестигельной зонной плавки
Электронно-микроскопические исследования А- и В-микродефектов.
Исследование микродефектов С- и D-типа.
Микродефекты вакансионного типа в бестигельных монокристаллах кремния.
Анализ контраста изображения D-микродефектов.
Трансформация микродефектов в процессе технологических воздействий
Электронно-микроскопические исследования термообработанных монокристаллов.
Трансформация микродефектов в процессе эпитаксиального наращивания.
Влияние микродефектов на электрические характеристики силовых приборов.
Влияние микродефектов на образование радиационных дефектов в кремнии.
Исследование механизма образования, роста и трансформации микродефектов
Приложение
Литература
Микродефекты в кремнии, полученном методом бестигельной зонной плавки.
Микродефекты в кремнии, полученном методом Чохральского.
Собственные точечные дефекты в кремнии.
Модели образования и роста микродефектов.
Методы выявления и исследования микродефектов
Приготовление образцов для металлографических и электронно-микроскопических исследований.
Методы электронно-микроскопического анализа.
Исследование физической природы микродефектов в бездислокационных монокристаллах кремния, выращенных методом бестигельной зонной плавки
Электронно-микроскопические исследования А- и В-микродефектов.
Исследование микродефектов С- и D-типа.
Микродефекты вакансионного типа в бестигельных монокристаллах кремния.
Анализ контраста изображения D-микродефектов.
Трансформация микродефектов в процессе технологических воздействий
Электронно-микроскопические исследования термообработанных монокристаллов.
Трансформация микродефектов в процессе эпитаксиального наращивания.
Влияние микродефектов на электрические характеристики силовых приборов.
Влияние микродефектов на образование радиационных дефектов в кремнии.
Исследование механизма образования, роста и трансформации микродефектов
Приложение
Литература