М.: Энергия, 1975 - 207с.
В книге описаны различные способы получения оксидной изоляции на
алюминии, тантале и многих других металлах, свойства этой изоляции
и ее применения. Наряду с широко известными и изученными способами
получения оксидной изоляции термическим и электрохимическим
окислением металла приведены новые способы нанесения оксидных
пленок в вакууме.
Оксидные диэлектрики весьма широко используются в производстве электролитических конденсаторов, а также для изоляции проводников в трансформаторах и других электротехнических изделиях. Новая и весьма широкая область применения оксидной изоляции — микроэлектроника.
Первое издание книги вышло в 1964 г.
Книга предназначена для широких кругов инженерно-технических работников электропромышленности, электронной промышленности и радиопромышленности, конструкторов электро- и радиоаппаратуры, научных работников, студентов электротехнических и радиотехнических специальностей. Оглавление
Предисловие
Способы получения оксидных пленок
Введение
Термическое оксидирование
Электрохимическое оксидирование
Плазменное оксидирование
Оксидирование алюминия за счет кислорода, абсорбированного другим металлом
Осаждение оксидных пленок испарением в вакууме
Осаждение оксидных пленок реактивным катодным распылением
Осаждение оксидных пленок высокочастотным распылением
Осаждение оксидных пленок из газовой фазы
Нанесение оксидных пленок шоопированием
Осаждение оксидных пленок из коллоидного раствора
Свойства оксидных пленок
Введение
Пленка окиси алюминия
Пленка окиси тантала
Пленка окиси ниобия
Пленка двуокиси титана
Пленки оксидов кремния
Пленка двуокиси циркония
Пленка двуокиси гафния
Пленки окислов редкоземельных металлов
Пленка двуокиси германия
Пленка трехокиси вольфрама
Пленка трехокиси молибдена
Пленка окиси никеля
Пленка окиси сурьмы
Пленка окиси висмута
Пленка окиси цинка
Пленки на основе системы нескольких оксидов
Теория односторонней электропроводности оксидных пленок
Неоксидные неорганические пленки
Применение оксидной изоляции в конденсаторах
Классификация оксидных конденсаторов
Емкость и допуск по емкости
Номинальное напряжение
Рабочие температуры
Рабочие частоты
Габаритные размеры, масса и стоимость конденсатора
Сопротивление изоляции
Полярность конденсаторов
Потери при синусоидальной пульсации
Потери при несинусоидальной пульсации
Эквивалентные схемы конденсаторов
Надежность конденсаторов
Выбор конденсаторов
Использование оксидных конденсаторов в микроэлектронике
Оксидная изоляция проводов и другие применения оксидных пленок
Свойства алюминия как проводникового материала
Анодированные алюминиевые провода, ленты и фольга; изготовление, свойства, области применения
Применение оксидной изоляции в выпрямителях и в других устройствах
Список литературы
Оксидные диэлектрики весьма широко используются в производстве электролитических конденсаторов, а также для изоляции проводников в трансформаторах и других электротехнических изделиях. Новая и весьма широкая область применения оксидной изоляции — микроэлектроника.
Первое издание книги вышло в 1964 г.
Книга предназначена для широких кругов инженерно-технических работников электропромышленности, электронной промышленности и радиопромышленности, конструкторов электро- и радиоаппаратуры, научных работников, студентов электротехнических и радиотехнических специальностей. Оглавление
Предисловие
Способы получения оксидных пленок
Введение
Термическое оксидирование
Электрохимическое оксидирование
Плазменное оксидирование
Оксидирование алюминия за счет кислорода, абсорбированного другим металлом
Осаждение оксидных пленок испарением в вакууме
Осаждение оксидных пленок реактивным катодным распылением
Осаждение оксидных пленок высокочастотным распылением
Осаждение оксидных пленок из газовой фазы
Нанесение оксидных пленок шоопированием
Осаждение оксидных пленок из коллоидного раствора
Свойства оксидных пленок
Введение
Пленка окиси алюминия
Пленка окиси тантала
Пленка окиси ниобия
Пленка двуокиси титана
Пленки оксидов кремния
Пленка двуокиси циркония
Пленка двуокиси гафния
Пленки окислов редкоземельных металлов
Пленка двуокиси германия
Пленка трехокиси вольфрама
Пленка трехокиси молибдена
Пленка окиси никеля
Пленка окиси сурьмы
Пленка окиси висмута
Пленка окиси цинка
Пленки на основе системы нескольких оксидов
Теория односторонней электропроводности оксидных пленок
Неоксидные неорганические пленки
Применение оксидной изоляции в конденсаторах
Классификация оксидных конденсаторов
Емкость и допуск по емкости
Номинальное напряжение
Рабочие температуры
Рабочие частоты
Габаритные размеры, масса и стоимость конденсатора
Сопротивление изоляции
Полярность конденсаторов
Потери при синусоидальной пульсации
Потери при несинусоидальной пульсации
Эквивалентные схемы конденсаторов
Надежность конденсаторов
Выбор конденсаторов
Использование оксидных конденсаторов в микроэлектронике
Оксидная изоляция проводов и другие применения оксидных пленок
Свойства алюминия как проводникового материала
Анодированные алюминиевые провода, ленты и фольга; изготовление, свойства, области применения
Применение оксидной изоляции в выпрямителях и в других устройствах
Список литературы