Тетельбаум Д.И. Ионная имплантация

Статья. Опубликована в Вестнике Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского, 2010, № 5(2), с. 250-259 Освещены наиболее важные результаты фундаментальных исследований, выполненных с 1961 года в НИФТИ ННГУ в области ионной имплантации, и их связь с актуальными проблемами последнего десятилетия. На основе их обобщения сформулированы некоторые ранее не опубликованные положения.
Ключевые слова: ионная имплантация, фундаментальные исследования, обобщение результатов, связь с современными проблемами.