Наноматериалы и нанотехнологии
Академическая и специальная литература
Статья
  • формат pdf
  • размер 192,90 КБ
  • добавлен 24 октября 2012 г.
Тетельбаум Д.И. Ионная имплантация
Статья. Опубликована в Вестнике Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского, 2010, № 5(2), с. 250-259
Освещены наиболее важные результаты фундаментальных исследований, выполненных с 1961 года в НИФТИ ННГУ в области ионной имплантации, и их связь с актуальными проблемами последнего десятилетия. На основе их обобщения сформулированы некоторые ранее не опубликованные положения.
Ключевые слова: ионная имплантация, фундаментальные исследования, обобщение результатов, связь с современными проблемами.
Похожие разделы