СПб.: СПбГТИ(ТУ), 2015. — 105 с.
Рассмотрены методы оценки квалификации вещества по содержанию
примесей. Даны физико-химические основы методов очистки веществ (с
применением гомогенных и гетерогенных систем). В качестве примера
рассмотрены технологии особо чистого кремния. Даны принципы
кристаллизационных методов очистки веществ. Рассмотрены
методические и технологические особенности выращивания промышленных
кристаллов из собственных расплавов и растворов-расплавов (методы
Вернейля, Киропулоса, Стокбаргера, Чохральского, Степанова и др.).
Содержание
Введение
Технология особо чистых веществ
Понятие об особо чистом веществе
Связь термодинамических свойств системы со степенью чистоты вещества
Связь степени чистоты вещества с его свойствами
Методы очистки веществ
Виды примесей, формы их нахождения в твердой фазе
Требования к помещениям и оборудованию для очистки веществ
Химические методы очистки.
Технология получения особо чистого кремния
Свойства кремния. Использование особо чистого кремния в технике
Принципы технологии кремния высокой чистоты
Технология технического («металлургического») кремния
Технология очистки металлургического кремния
Моносилановая технология очистки кремния
Кристаллизационные методы очистки веществ
Влияние примесей
Коэффициент разделения (распределения)
Однократная направленная кристаллизация
Многократная направленная кристаллизация
Методы определения примесного состава высокочистых веществ
Технология монокристаллов
Механизмы роста монокристаллов. Роль пересыщения
Методы выращивания кристаллов из расплава в промышленных масштабах
Консервативные методы выряпутиания монокристаллов
Зонная плавка с различными способами нагрева
Неконсервативные методы выращивания монокристаллов
Метод Бриджмена-Стокбаргера
Метод Киропулоса
Метод Чохральского
Метод Степанова
Спонтанный рост из раствора в расплаве
Гидротермальный метод выращивания монокристаллов
Технология и аппаратное оформление процесса роста монокристаллов
Материалы, используемые в технологии монокристаллов
Способы управления качеством растущего кристалла
Литература
Введение
Технология особо чистых веществ
Понятие об особо чистом веществе
Связь термодинамических свойств системы со степенью чистоты вещества
Связь степени чистоты вещества с его свойствами
Методы очистки веществ
Виды примесей, формы их нахождения в твердой фазе
Требования к помещениям и оборудованию для очистки веществ
Химические методы очистки.
Технология получения особо чистого кремния
Свойства кремния. Использование особо чистого кремния в технике
Принципы технологии кремния высокой чистоты
Технология технического («металлургического») кремния
Технология очистки металлургического кремния
Моносилановая технология очистки кремния
Кристаллизационные методы очистки веществ
Влияние примесей
Коэффициент разделения (распределения)
Однократная направленная кристаллизация
Многократная направленная кристаллизация
Методы определения примесного состава высокочистых веществ
Технология монокристаллов
Механизмы роста монокристаллов. Роль пересыщения
Методы выращивания кристаллов из расплава в промышленных масштабах
Консервативные методы выряпутиания монокристаллов
Зонная плавка с различными способами нагрева
Неконсервативные методы выращивания монокристаллов
Метод Бриджмена-Стокбаргера
Метод Киропулоса
Метод Чохральского
Метод Степанова
Спонтанный рост из раствора в расплаве
Гидротермальный метод выращивания монокристаллов
Технология и аппаратное оформление процесса роста монокристаллов
Материалы, используемые в технологии монокристаллов
Способы управления качеством растущего кристалла
Литература