Пояснительная записка к курсовой работе по
дисциплине Основы физики твёрдого тела и микроэлектроники.
Марийский государственный технический университет, Йошкар-Ола,
2003, 51с. Разработал: студент группы ЭВС-31 Колесников
Консультировал: доцент Игумнов В.Н.
Содержание
Введение
Термическое вакуумное напыление
Резистивное напыление
Индукционное напыление
Электронно-лучевое напыление
Лазерное напыление
Электродуговое напыление
Распыление ионной бомбардировкой
Катодное распыление
Магнетронное распыление
Высокочастотное распыление.
Плазмоионное распыление в несамостоятельном газовом разряде
Технология тонких пленок на ориентирующих подложках
Механизмы эпитаксиального роста тонких пленок
Молекулярно-лучевая эпитаксия
Заключение
Литература
Введение
Термическое вакуумное напыление
Резистивное напыление
Индукционное напыление
Электронно-лучевое напыление
Лазерное напыление
Электродуговое напыление
Распыление ионной бомбардировкой
Катодное распыление
Магнетронное распыление
Высокочастотное распыление.
Плазмоионное распыление в несамостоятельном газовом разряде
Технология тонких пленок на ориентирующих подложках
Механизмы эпитаксиального роста тонких пленок
Молекулярно-лучевая эпитаксия
Заключение
Литература