Вейко В.П. Лазерные микро - и нанотехнологии в микроэлектронике

формат pdf
размер 13.66 МБ
добавлен 31 декабря 2011 г.

Опорный конспект лекций. - Санкт-Петербург, НИУ ИТМО, 2011. – 141 с.
Опорный конспект лекций для бакалавров и магистров направлений 200500 "Лазерная техника и лазерные технологии", 200200 "Оптотехника", 223200 "Техническая физика", 200700 "Фотоника и оптоинформатика", 200100 "Приборостроение", а также для студентов специальностей 200201 "Лазерная техника и лазерные технологии", 210401 "Физика и техника оптической связи". Курс также может быть полезен инженерам, ученым, менеджерам, которые интересуются применением лазерных технологий в микроэлектронике, для понимания преимуществ и ограничений использования лазеров в этой области, для расширения и углубления их знаний в области процессов лазерной обработки.

Основные области применения лазерных технологий в базовых процессах микроэлектроники
лазерная литография
лазерная настройка
лазерный отжиг
импульсное лазерное нанесение пленок
лазерная очистка поверхности
Лазерная обработка тонких пленок (ЛОТП)
1 Общая концепция ЛОТП
2 Средства и методы ЛОТП
Лазеры для ЛОТП
Оптические схемы для ЛОТП
Физические процессы формирования топологии тонких пленок (ТП)
3 Точность и качество ЛОТП
Термические искажения изображений на ТП
Термохимические искажения изображений
Термомеханические процессы в пленках и подложках
Гидродинамические искажения
Газодинамические искажения
Оптические искажения
4 Основные применения ЛОТП
Технология фотошаблонов
Лазерный синтез дифракционных оптических элементов, CD–дисков
Изготовление оптических шкал, сеток и кодовых масок
Применение лазерного локального переноса пленок
Возможности улучшения процесса лазерной подгонки
5 Перспективы ЛОТП
Оптимизация процессов лазерной обработки:
Возможности улучшения лазерной подгонки
Развитие методов локального лазерного переноса пленок (LIFT)
Объединение активации химических процессов с их локализацией
Преодоление дифракционного предела в ЛОТП

Похожие разделы

Смотрите также

Арсеньев П.А. и др. Введение в нанотехнологию: проблемы материаловедения, экономики и экологии

формат djvu
размер 3.32 МБ
добавлен 05 января 2011 г.

Москва, МЭИ, 2006. - 48 с. Учебное пособие включает в себя основные положения нанотехнологии - определение и классификацию наночастиц, нанотехнологий, нанонауки, их отличия от аналогичных понятий в микроэлектронике, основные аспекты развития нанотехнологий, вопросы для самопроверки, список рекомендуемой литературы. Предназначено для студентов электротехнических и радиотехнических специальностей МЭИ.

Данилина Т.И., Смирнова К.И. и др. Процессы Микро и Нанотехнологии

формат pdf
размер 22.56 МБ
добавлен 09 марта 2011 г.

Томск, ТУСУР, 2004 г. , 260 стр. В монографии рассмотрены технологические основы производства интегральных микросхем (ИМС), в том числе сверхбольших ИМС, отражены вопросы формирования наноструктур и технологии их формирования. Большинство разделов учебного плособия содержит математические модели для инженерных расчётов. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» при изучении курсов «П...

Карагусов В.И. Нанотехнологии в низкотемпературных, компрессорных и климатехнических системах

формат doc
размер 9.58 МБ
добавлен 13 апреля 2011 г.

Монография Изд-во ОмГТУ. 2011. – 228 с. Наноструктуры, наноэлементы и нанотехнологии. Виды наноструктур. Теплофизические, гидравлические, механические, оптические, электрические, магнитные и другие свойства наноструктур. Нанотехнологии, технологии получения наноструктур. Нанотехнологии нанесения покрытий. Области применения наноструктур, наноматериалов и нанотехнологий. Нанотехнологии в системах охлаждения и кондиционирования. Наноструктуры...

Максимов А.И., Мошников В.А., Таиров Ю.М., Шилова О.А Основы золь-гель-технологии нанокомпозитов

формат pdf
размер 5.97 МБ
добавлен 21 мая 2011 г.

2 изд. СПб.: СПб.: ООО Техномедиа / Изд-во Элмор, 2007. 255 с Монография написана в рамках инновационно-образовательной программы и предназначена специалистам, работающим в областях нанотехнологии, твердотельной электроники, микро- и наноэлектроники, микро- и наносистемной техники, тонкопленочной сенсорики, а также может быть полезна аспирантам и студентам, обучающимся по направлениям "Электроника и микроэлектроника" и "Нанотехнология".

Неволин В. Зондовые нанотехнологии в электронике

формат pdf
размер 3.51 МБ
добавлен 07 января 2011 г.

Москва, Техносфера, 2006. - 160 с. Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология. В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельны...

Неволин В.К. Основы туннельно-зондовой нанотехнологии

формат pdf
размер 3.19 МБ
добавлен 20 июля 2011 г.

М.: МГИЭТ(ТУ), 1996, 91 с. Уч. пособие. Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если размеры этих элементов достигают порядка нанометра, то существеиными становятся квантовые эффекты, принципиально меняющие физику явлений , лежащих в основе работы приборов. Создание таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе является предметом нанотехнологии . В пособии изложены физические о...

Слепцов В.В. Наноматериалы и нанотехнологии. Курс лекций

формат doc
размер 2.6 МБ
добавлен 26 апреля 2010 г.

МАТИ-РГТУ им. К. Э. Циолковского. 196 с. Наноматериалы и нанотехнологии (146 с. ). Интеллектуальные материалы. Физико-химические основы формирования нанопористых структур. Нанотрубки и родственные структуры оксидов металлов и других соединений. Углеродные наноструктуры – углеродные молекулы, углеродные кластеры, углеродные нанотрубки. Нанотехнологии в микроэлектронике. Физико–химические основы нанотехнологий - Лекция 1 (34 с. ) Что такое наноте...

Слепцов В.В. Наноматериалы и нанотехнологии. Курс лекций

формат doc
размер 2.13 МБ
добавлен 22 июля 2010 г.

МАТИ-РГТУ им. Циолковского 146 с., много иллюстраций. Интеллектуальные материалы. Физико-химические основы формирования нанопористых структур Углеродные наноструктуры – углеродные молекулы, углеродные кластеры, углеродные нанотрубки. Нанотехнологии в микроэлектронике

Шахно Е.А. Аналитические методы расчета лазерных микро- и нанотехнологий

формат pdf
размер 800.21 КБ
добавлен 24 ноября 2010 г.

Санкт-Петербург, СПбГУ ИТМО, 2009. – 77 с. Учебное пособие предназначено для магистрантов, проходящих обучение по курсу «Лазерные микро– и нанотехнологии» в практических занятиях и лабораторных работах. Является переработанной и дополненной версией пособия «Математические методы описания лазерных технологий». Включает краткий теоретический материал по основным аналитическим методам математики, используемым в исследованиях и разработке лазерных т...

Щука А.А. Наноэлектроника

формат djvu
размер 6.66 МБ
добавлен 22 мая 2010 г.

М., Физматкнига, 2007 г. , 465 стр. Монография содержит подробный материал по пяти дисциплинам направления подготовки «Нанотехнология в электронике»: физико-химия наноструктурных материалов, материалы и методы нанотехнологии, методы диагностики и анализа микро- и наносистем, элементы и приборы наноэлектроники, квантовая и оптическая электроника.