Екатеринбург: ГОУ ВПО УГТУ-УПИ, 2006. — 236 с.
В книге изложены основные направления развития микро- и
наноэлектроники: рассмотрены физические основы функционирования
интегральных микросхем (ИС) и их структурных элементов, приведены
конструктивно-технологические варианты исполнения ИС,
проанализированы физические особенности отечественных и зарубежных
промышленных технологических процессов формирования топологии
полупроводниковых радиоэлектронных устройств. Описаны конструкции
перспективных структурных элементов микро- и наноэлектроники, а
также методы их изготовления.
Учебник предназначен для студентов специальности "Физическая электроника" направления подготовки дипломированных специалистов "Электроника и микроэлектроника", аспирантов и научных работников.
Учебник предназначен для студентов специальности "Физическая электроника" направления подготовки дипломированных специалистов "Электроника и микроэлектроника", аспирантов и научных работников.