Аксенов А.И., Носков Д.А. Процессы лазерной и электронно-ионной технологии

формат pdf
размер 1.08 МБ
добавлен 25 июля 2011 г.

Учебное пособие.Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлек-
троники, 2007. - 110 с.
В данном пособии описаны основные закономерности процессов взаимодействия электронов и ионов с твердым телом, приведены главные способы получения потоков электронов и ионов, а также варианты формирования и управления пучками заряженных частиц, вопросы разработки источников электронов и ионов, причем раздельно рассматриваются источники ионов газов и твердых веществ, в частности ионов металлов. Приводятся возможные варианты классификаций оборудования, электронных пушек и ионных источников по характеру
процессов, взятых за основу при их конструировании.

Похожие разделы

Смотрите также

Аксенов В.С. и др.Критические условия инициирования скользящего разряда в высокоскоростном потоке воздуха за фронтом ударной волны

Статья

формат doc
размер 38 КБ
добавлен 04 мая 2011 г.

Статья. Опубликована в Физика плазмы Научная сессия МИФИ-2005. Том 4 с. 132-133 Библ. 4 наим. Авторы: В. С. Аксенов, С. А. Губин, В. В. Голуб, В. П. Ефремов, И. В. Маклашова, Ю. Л. Шаров. Предлагается использовать скользящий электродуговой разряд, перемещающийся от одного электрода к другому вдоль полупроводящей поверхности и завершающийся разрядом емкостного накопителя, генерирующим в окружающем пространстве ударную волну, для управления траекто...

Аксенов И.И., Падалка В.Г., Хороших В.М. Формирование потоков Ме плазмы (обзор)

формат pdf
размер 3.15 МБ
добавлен 12 мая 2010 г.

М.: ЦНИИатоминформ, 1984г. - 84с. Анализируется способы и устройства для генерации металлической плазмы, основанные на использовании вакуумно-дугового разряда с расходуемым катодом. Рассматриваются работы, связанные, главным образом, с проблемами ионно-плазменной технологии обработки материалов и техники получения вакуума. Особое внимание уделено вопросам управления плазмой скрещенными E- и H- полями: фокусировке, отклонению, транспортировке и се...

Гасанов И.С. Плазменная и пучковая технология

формат pdf
размер 872 КБ
добавлен 08 июля 2010 г.

Гасанов Ильхам Солтан оглы. Плазменная и пучковая технология. Изд-во: "Элм", Баку 2007, 175 стр. В книге рассматриваются физические процессы, лежащие в основе работы ионных и плазменных источников, а также их конструкции и функциональные параметры. Описываются методы масс-анализа состава ионных пучков и остаточного газа в вакуумной системе. Характеризуются механизмы взаимодействия ускоренных ионов и электронов с веществом, способы осаждения тонк...

Дипломная работа - Механизмы имплантации в металлы и сплавы ионов азота с энергией 1-10 кэВ

degree

формат rtf
размер 83.81 МБ
добавлен 26 мая 2011 г.

Автор, вуз, год написания неизвестны. 92с. Библ. 65 наим. Содержание: Введение Сравнительный анализ методов поверхностного модифицирования Физические основы процесса ионной имплантации газов в металлы и сплавы Основные характеристики метода ионной имплантации Механизмы взаимодействия имплантируемых ионов с мишенью Модель для расчета пробегов ионов в материале подложки Ядерное торможение иона в материале Электронное торможение иона в материале Рас...

Ефремов А.М., Светцов В.И., Рыбкин В.В. Вакуумно-плазменные процессы и технологии

формат pdf
размер 4.85 МБ
добавлен 27 февраля 2010 г.

Учебное пособие. ГОУВПО Иван. гос. хим. -технол. ун-т. Иваново. 2006. 260 с. Рассмотрены процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с поверхностью твердого тела, а так же технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники» и может...

Матвеев В.И., Карпова О.В. К теории распыления металла в виде нейтральных и заряженных кластеров

Статья

формат pdf
размер 269.14 КБ
добавлен 22 мая 2011 г.

Статья. Опубликована в Изв. ВУЗов. Физика. №6, 2002. с.3-6. Предложен метод расчета процессов упругого распыления металла в виде кластеров при ионной бомбардировке.

Савкин К.П. Определение максимальной эффективности извлечения ионов из плазмы вакуумного дугового разряда

Дисертация

формат pdf
размер 449.83 КБ
добавлен 27 мая 2011 г.

Приведены результаты определения максимальной эффективности извлечения ионов из плазмы вакуумного дугового разряда для следующих катодных материалов: C, Mg, Al,Ti, Co, Cu, Zr, Cd, In, Sn, Sm, Ta, W, Pt, Pb, Bi. Показано, что в зависимости от катодного материала значения нормированных ионных токов Аi изменяются от 5 до 19%. На основе полученных Аi определены значения коэффициентов удельной ионной эрозии Вi для исследованных материалов без влияния...

Туманов Ю.Н. Плазменные и высокочастотные процессы получения и обработки материалов в ядерном топливном цикле: настоящее и будущее

формат djvu
размер 11.19 МБ
добавлен 18 октября 2009 г.

Туманов Ю. Н. Плазменные и высокочастотные процессы получения и обработки материалов в ядерном топливном цикле: настоящее и будущее. — М.: ФИЗМАТЛИТ, 2003. — 760 с. Рассмотрены применения технологической плазмы и высокочастотных электромагнитных полей в ядерном топливном цикле (ЯТЦ) и в смежных областях технологии и техники в комбинации с процессами сорбционного, экстракционного и ректификационного аффинажа. Проанализирован уровень развития плаз...

Чёрный Г.Г., Лосев С.А. (ред.) Физико-химические процессы в газовой динамике, том 1

Справочник

формат djvu
размер 3.2 МБ
добавлен 07 мая 2011 г.

Компьютеризованный справочник в 3-х томах М.: Изд. Моск. ун-та, 1995. - 350 с. Первый том справочника "Физико-химические процессы в газовой динамике" содержит информацию о моделях, описывающих процессы столкновений в газе и плазме с участием атомов, молекул, ионов и электронов. Рассматриваемые процессы включают упругое рассеяние, электронно-колебательно-вращательный энергообмен между сталкивающимися частицами, химические и плазмохимические реакц...

Шулаев В.М., Андреев А.А., Руденко В.П. Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения

Статья

формат pdf
размер 261.83 КБ
добавлен 16 июня 2011 г.

Статья. Опубликована в ФІП ФИП PSE, 2006, т. 4, № 3 – 4, с.136-142 Предложена модернизация вакуумно-дуговых установок, в том числе типа Булат и ННВ 6.6, для реализации метода плазменной ионной имплантации и осаждения (метод PBII&D). Процессы ионного азотирования изделий и последующего осаждения покрытий осуществляются при приложении к обрабатываемому изделию постоянного и высоковольтного импульсного потенциалов с различными частотами и амплит...