Лабораторный практикум: М.: НИЯУ МИФИ, 2011. – 96 с.
Лабораторный практикум посвящен изучению свойств пленок,
наноструктур, наноматериалов с помощью сканирующей зондовой
микроскопии, при этом существенное внимание уделено технологических
процессам получения образцов для таких исследований.
Лабораторный практикум выполняется в режиме как локального, так и удаленного доступа интерактивного учебно-научного комплекса для выполнения работ по исследованию наноструктурированных материалов, объектов и систем методами сканирующей зондовой микроскопии. Практикум предназначен для студентов, обучающихся по специальности «Физика конденсированного вещества» и специализирующихся по кафедре «Компьютерного моделирования и физики наноструктур и сверхпроводников», а также может быть рекомендовано для студентов, аспирантов, слушателей групп повышения квалификации и переподготовки специалистов в области получения и исследования пленок, наноструктур и наноматериалов.
Подготовлено в рамках Программы создания и развития НИЯУ МИФИ.
Рецензенты: канд. физ.-мат. наук, доц. А.А. Лаврухин (НИЯУ МИФИ); зав. кафедрой материаловедения ИАТЭ НИЯУ МИФИ В.А. Степанов.
ISBN 978-5-7262-1428-3.
Содержание.
Предисловие.
Порядок выполнения лабораторных работ.
Лабораторные работы:
Контактная атомно-силовая микроскопия.
Полуконтактная атомно-силовая микроскопия.
Многопроходные методы атомно-силовой микроскопии.
Проведение измерений в магнитном поле.
Проведение измерений с помощью СЗМ в вакууме.
Основы статистической обработки результатов измерений СЗМ.
Проведение исследований с помощью наносклерометрического модуля.
Контактная силовая литография.
Лабораторный практикум выполняется в режиме как локального, так и удаленного доступа интерактивного учебно-научного комплекса для выполнения работ по исследованию наноструктурированных материалов, объектов и систем методами сканирующей зондовой микроскопии. Практикум предназначен для студентов, обучающихся по специальности «Физика конденсированного вещества» и специализирующихся по кафедре «Компьютерного моделирования и физики наноструктур и сверхпроводников», а также может быть рекомендовано для студентов, аспирантов, слушателей групп повышения квалификации и переподготовки специалистов в области получения и исследования пленок, наноструктур и наноматериалов.
Подготовлено в рамках Программы создания и развития НИЯУ МИФИ.
Рецензенты: канд. физ.-мат. наук, доц. А.А. Лаврухин (НИЯУ МИФИ); зав. кафедрой материаловедения ИАТЭ НИЯУ МИФИ В.А. Степанов.
ISBN 978-5-7262-1428-3.
Содержание.
Предисловие.
Порядок выполнения лабораторных работ.
Лабораторные работы:
Контактная атомно-силовая микроскопия.
Полуконтактная атомно-силовая микроскопия.
Многопроходные методы атомно-силовой микроскопии.
Проведение измерений в магнитном поле.
Проведение измерений с помощью СЗМ в вакууме.
Основы статистической обработки результатов измерений СЗМ.
Проведение исследований с помощью наносклерометрического модуля.
Контактная силовая литография.