Завацкий В.Л., Мовшиц Б.И., Спектор С.Л., Тонконог А.Н.; заявитель:
Днепродзержинский индустриальный ин-т им. М.И. Арсеничева. – МКИ: B
24 B 31/112 – № 3960416; заявл. 08.10.85; опубл. 07.06.87, Бюл. №21
– 5 с.
Формула изобретения:
Устройство для магнитно-абразивной обработки ферромагнитным абразивным порошком деталей в виде пластин, закрепленных на полюсах магнитной системы ротора, связанных с шестернями-сателлитами планетарного механизма, включающее расположенную соосно ротору и установленную с возможностью осевого перемещения магнитную головку с кольцевой рабочей поверхностью на торце, образованной полюсами электромагнитных катушек, равномерно расположенных по окружности, подключенных к блоку питания с обеспечением чередования полярности их полюсов, отличающееся тем, что, с целью повышения эффективности обработки при обработке полупроводниковых пластин, магнитная система ротора выполнена в виде постоянных магнитов, равномерно расположенных по окружности на введенных в устройство сменных кольцевых оправках, каждая из которых закреплена на шестерне-сателлите и снабжена расположенными внутри и снаружи нее емкостями для размещения ферромагнитного порошка, а электромагнитные катушки магнитной головки расположены в несколько рядов на концентрических окружностях и подключены к блоку питания с обеспечением чередования полярности их полюсов как по окружности, так и в радиальном направлении.
Устройство для магнитно-абразивной обработки ферромагнитным абразивным порошком деталей в виде пластин, закрепленных на полюсах магнитной системы ротора, связанных с шестернями-сателлитами планетарного механизма, включающее расположенную соосно ротору и установленную с возможностью осевого перемещения магнитную головку с кольцевой рабочей поверхностью на торце, образованной полюсами электромагнитных катушек, равномерно расположенных по окружности, подключенных к блоку питания с обеспечением чередования полярности их полюсов, отличающееся тем, что, с целью повышения эффективности обработки при обработке полупроводниковых пластин, магнитная система ротора выполнена в виде постоянных магнитов, равномерно расположенных по окружности на введенных в устройство сменных кольцевых оправках, каждая из которых закреплена на шестерне-сателлите и снабжена расположенными внутри и снаружи нее емкостями для размещения ферромагнитного порошка, а электромагнитные катушки магнитной головки расположены в несколько рядов на концентрических окружностях и подключены к блоку питания с обеспечением чередования полярности их полюсов как по окружности, так и в радиальном направлении.