К: "Інтерпрес ЛТД", 1997. - 240 c.
Монокристаллический кремний.
Кислород - основная фоновая примесь в монокристаллах кремния, выращенных по методу Чохральского.
Свойства кислорода в кремнии.
Электрически активные кислородные комплексы в термообработанном кремнии.
Преципитация кислорода в кремнии.
Кислород - основная фоновая примесь в монокристаллах кремния, выращенных по методу Чохральского.
Свойства кислорода в кремнии.
Электрически активные кислородные комплексы в термообработанном кремнии.
Преципитация кислорода в кремнии.