Батурин И.С. Фотолитография

формат pdf, ppt
размер 25.21 МБ
добавлен 12 сентября 2010 г.

Учебно-методический комплекс. - Екатеринбург, УрГУ им. А. М. Горького, 2008.

Учебно-методические комплекс предназначен для студентов, изучающих специальную дисциплину «Фотолитография», и призваны помочь успешному освоению материала курса и достижению основной его цели – ознакомление с методиками формирования микро- и наноструктур на поверхности различных материалов с помощью методов микро- и нанолитографии.

Учебно-методический комплекс состоит из 5 файлов:
Вопросы для самоконтроля
Презентация курса лекций
Экзаменационные материалы
Методические указания
Программа дисциплины.

Похожие разделы

Смотрите также

Захарова И.Б. Физические основы микро - и нанотехнологий

формат doc
размер 5.33 МБ
добавлен 28 марта 2011 г.

Учебное пособие. СПб: СПбГПУ, 2010 г. , 201 стр. , ISBN 978-5-7422-1845-6 В данном пособии рассмотрены физико-химические особенности формирования микро- и наноразмерных структур, основные технологические методы и перспективы их развития. Большое внимание уделено физическим и технологическим ограничениям на предельные параметры микро- и наноструктур, их электронным и оптические свойства. Исследования в области наноэлектроники, развивающейся на ос...