Белявский П.Ю., Карманенко С.Ф., Никитин А.А., Семенов А.А., Тумаркин А.В. Процессы микро - и нанотехнологий: методические указания к лабораторным работам

Методические указания к лабораторным работам. — СПб.: Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2013. — 67 с. Рассмотрены основные этапы выполнения лабораторных работ по курсу "Процессы микро- и нанотехнологий". Приводится краткое описание физических моделей, лежащих в основе различных технологических режимов напыления и осаждения металлических и диэлектрических пленок, а так же процессов ионного и химического травления. Приведена методика расчета технологических процессов режимов осаждения пленок, на основе которых составляются рекомендации для реальных технологических процессов. Содержатся необходимые справочные сведения и характеристики элементов для выполнения расчетов.