Битюцкая Л.А. и др. (сост.) Нанотехнологии в физике. Дистанционная лаборатория атомно-силовой микроскопии нанообъектов. Часть 1: Тестирование. Обработка и анализ изображения

Учебное пособие / Сост. Л.А.Битюцкая, Е.В.Богатиков, Е.Н.Бормонтов, М.В.Гречкина, С.Д.Кургалин, М.Ю.Хухрянский – Воронеж: Воронежский государственный университет, — 2007 с. Настоящее издание Дистанционная лаборатория атомно-силовой микроскопии нанообъектов. Часть 1: Тестирование. Обработка и анализ изображения является вторым выпуском цикла практических работ по направлению Нанотехнологии в физике.
Рекомендуется для студентов дневного отделения физического факультета, обучающихся по специальностям 010803 – Микроэлектроника и полупроводниковые приборы, 210600 – Нанотехнология, 210601 – Нанотехнология в электронике. Данное пособие также может быть рекомендована для студентов химического (специальность 511700 - Химия, физика и механика материалов), биологического, геологического факультетов и слушателей факультета повышения квалификации при ВГУ по направлению Нанотехнологии, наноиндустрия и проблемы качества подготовки специалистов по критическим технологиям.
Практикум проводится на базе Лаборатории Наноскопии и нанотехнологий ЦКПНО ВГУ с использованием специального пакета программ, обеспечивающего удаленный доступ к лабораторному оборудованию сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ). Содержание
Теоретическая часть
Атомно-силовая микроскопия (АСМ)
Устройство и принцип работы АСМ Femtoscan Online
Контактный режим АСМ - микроскопии
Тестовые объекты
Разрешение в АСМ
Шероховатость поверхности твердого тела
Артефакты СЗМ
Практическая часть
Структура программного обеспечения Femtoscan Online
Формирование и методы обработки АСМ - изображений
Формирование изображений при сканировании поверхности
Обработка изображений
Анализ изображений