• формат pdf
  • размер 2,46 МБ
  • добавлен 17 марта 2013 г.
Борисов А.М., Машкова Е.С. Физические основы ионно-лучевых технологий Часть 1 Ионно-электронная эмиссия
Учебное пособие. М.: Университетская книга, 2011 – 142 с.
В пособии приведены основные положения физики взаимодействия ионов с материалами, теории
и закономерности ионно-электронной эмиссии материалов и практические применения этого явления.
Пособие предназначено для студентов и аспирантов, специализирующихся в области физической
электроники и ионно-плазменных технологий, может быть также полезным для специалистов и инженеров, связанных с вопросами взаимодействия плазмы и ионных пучков с поверхностью, разработкой методов обработки материалов потоками заряженных частиц в различных областях науки и техники, в том числе в задачах термоядерного и аэрокосмического материаловедения.