Брагин О.А. Лабораторная работа. Знакомство с методами получения и измерения вакуума

Новосибирск: Новосибирский государственный университет. Физический факультет. Кафедра общей физики. 2006 Общие сведения. Теоретические основы
Процессы откачки
Техника получения вакуума
Форвакуумный насос
Диффузионный насос
Техника измерения давления разряженных газов (вакууметры)
Манометрический термопарный преобразователь
Электронный ионизационный преобразователь
Описание вакуумной установки и порядок работы
Литература