Статья
  • формат doc
  • размер 980,23 КБ
  • добавлен 19 мая 2012 г.
Бумагина А.И. Изучение свойств оксидных пленок, полученных с помощью дуального магнетрона
Статья опубликована на VI Международной конференции студентов и молодых ученых: "Перспективы развития фундаментальных наук". — Томск: ТПУ, 2009 — т.
1. - С. 37-39
Содержание статьи:
Введение
Способы получения оксидных пленок
Конструкция дуальной магнетронной распылительной системы
Методика эксперимента
Сравнение скоростей напыления
Исследование оптических характеристик
Заключение.
Список литературы.