Чернозубов Ю.С. Как рождаются микросхемы

М.: Просвещение, 1989. - 128 с.: ил. - (Мир знаний).
Книга знакомит читателя с историей развития электроники, возникновением микроэлектроники. В ней даны основные понятия о видах микросхем - полупроводниковых интегральных и гибридных (тонкопленочных и толстопленочных). Даны элементарные понятия о физике полупроводников и основных элементов ИМС. Объясняется сущность основных технологических процессов изготовления ИМС: фотолитографии, вакуумного напыления, окисления, диффузии, эпитаксии, процессов сборки и выходного контроля.
Книга предназначена для учащихся старших классов средней школы.
ISBN 5-09-001324-1, ББК 32.973.