М.: Радио и связь, 1982. - 72с.
Рассматриваются принцип действия и конструкции магнетронных
распылительных систем, их рабочие характеристики, принципы
конструирования и расчета, а также применение магнетронных
распылительных систем в полупроводниковом производстве и ряде
других областей, в которых используются пленочные покрытия.
Описывается получение с помощью магнетронных распылительных систем
проводящих, резистивных, сверхпроводящих, магнитных,
диэлектрических, оптических и других пленок.
Для специалистов, занимающихся разработкой и производством изделий электронной техники.
Для специалистов, занимающихся разработкой и производством изделий электронной техники.