М.:Радио и связь. 1982. - 72 с., ил.
300 dpi, ч/б, OCR Рассматриваются принцип действия и конструкции магнетронных распылительных систем, их рабочие характеристики, принципы конструирования и расчета, а также применение магнетронных распылительных систем в полупроводниковом производстве и ряде других областей, в которых используются пленочные покрытия. Описывается получение с помощью магнетронных распылительных систем проводящих, резистивных, сверхпроводящих, магнитных, диэлектрических, оптических и других пленок.
Для специалистов, занимающихся разработкой и производством изделий электронной техники.
300 dpi, ч/б, OCR Рассматриваются принцип действия и конструкции магнетронных распылительных систем, их рабочие характеристики, принципы конструирования и расчета, а также применение магнетронных распылительных систем в полупроводниковом производстве и ряде других областей, в которых используются пленочные покрытия. Описывается получение с помощью магнетронных распылительных систем проводящих, резистивных, сверхпроводящих, магнитных, диэлектрических, оптических и других пленок.
Для специалистов, занимающихся разработкой и производством изделий электронной техники.