Статья
  • формат pdf
  • размер 1,46 МБ
  • добавлен 08 мая 2015 г.
Development of driving setup for micromechanical friction vacuum gauge
Разработка управляющей установки для микромехнического датчика
давления.
Павел Б. Ковыркин, Антон Н. Бойко, Сергей П. Тимошенков,
кафедра Микроэлектроники
Национального Исследовательского Университета МИЭТ,
2015.
Pavel B. Kovyrkin Anton N. Boyko, Andrei S. Shalimov, Sergei P. Timoshenkov.