Москва, Наука, 1974. - 207 с.
Летучие гидриды элементов III-VI групп периодической системы
находят все более широкое применение для получения элементов особой
чистоты и для выращивания и легирования эпитаксиалышх
полупроводниковых слоев. Монография содержит полный обзор
исследований но получению, глубокой очистке гидридов и методам их
анализа, определению природы примесей и их происхождения. Подробно
рассматриваются физико-химические свойства гидридов, термодинамика
и кинетика реакций их термического разложения с выделением
гидридобразующего элемента.
Книга предназначена для широкого круга научных и
инженерно-технических работников, занимающихся получением
полупроводниковым материалов и чистых металлов, для преподавателей,
аспирантов и студентов вузов.