Метод.указания к лаб. работе. — Самара: Самар.гос.аэрокосм.ун-т,
2002. — 16с.
Приведены теоретические сведения по технологии изготовления
толстоплёночных гибридных интегральных микросхем (ГИМС). Описаны
основные узлы и блоки полуавтомата трафаретной печати типа ПТП-1, а
также порядок работы на нём для приобретения практических навыков
изготовления толстоплёночных ГИМС.
Рекомендуется студентам специальности 20.08.00 при изучении дисциплины «Технологические процессы микроэлектроники».
Рекомендуется студентам специальности 20.08.00 при изучении дисциплины «Технологические процессы микроэлектроники».