Дороднов А.M., Кузнецов А.Н., Леонтьев С.В. Методика инженерно-физического расчета электродугового источника плазмы для процессов нанесения покрытий в вакууме

Учебное пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 1999. - 36 с., ил. Изложены методические подходы к расчетам электродугового источника плазмы для процессов нанесения покрытий в вакууме. Описаны основные физические особенности вакуумной дуги с катодными пятнами, ее генерационные характеристики. Проведем анализ стадий рабочего процесса - откачки, генерации, транспортировки плазмы и взаимодействия ионов с поверхностью изделия при различных режимах ионной обработки. Даны рекомендации по расчетам электродугового источника плазмы и его конструктивных параметров для ·решения конкретной технической задачи.
Для студентов, обучающихся по специальности "Плазменные энергетические установки", а также для аспирантов, инженерно-технических и научных работников, занимающихся изучением применения ионно-плазменных технологических установок в различных областях техники.